导读:本文包含了双频激光干涉仪论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:干涉仪,双频,激光,偏振,测量,正交,转台。
双频激光干涉仪论文文献综述
吴嗣珊[1]（2018）在《双频激光干涉仪的非线性误差与光学细分关系的研究》一文中研究指出激光干涉仪是广泛应用于精密测量和定位的一种重要的光学仪器,而在测量过程中非线性误差是激光干涉仪最主要的误差源。本文主要研究激光干涉仪非线性误差与细分数之间的关系,主要分析了激光源不理想(偏振非正交和椭圆偏振)和偏振分光镜不理想两种情况。首先用数学分析的方法分别分析二细分四细分干涉仪在不理想条件下的非线性,其次用MATLAB对其进行仿真。仿真结果表明非线性误差随着细分数的不同而发生改变。当激光源偏振非正交时,二细分四细分干涉仪均会产生非线性误差,并且四细分干涉仪比二细分干涉仪产生的非线性误差大。而当激光源为椭圆偏振时则不同。只有当激光源的两束光均为椭圆偏振且椭偏角相同时,四细分的非线性误差比二细分大。而激光源中只有一个椭圆偏振或者两者均为椭圆偏振但椭偏角不同时,四细分的非线性误差比二细分小。当偏振分光镜不理想时,在非理想反射条件下只有二细分才会产生非线性误差,可见此时增大细分,非线性误差减少。而非理想透射条件下二细分四细分干涉仪均产生非线性误差,同时四细分干涉仪的非线性误差比二细分干涉仪大。当反射透射均不理想时也是四细分干涉仪非线性误差比二细分干涉仪大。该研究对外差干涉仪的设计具有重要的意义。(本文来源于《江西师范大学》期刊2018-05-01）
张大军,刘合朋,刘军,闵跃军,钟正虎[2]（2017）在《基于双频激光干涉仪的角速率检测系统精度分析》一文中研究指出为了能够精确检测到测试转台在低速运行下的角速率,设计了一种基于双频激光干涉仪的角速率精度检测系统。首先,对本检测系统各项误差进行机理分析。然后,综合各项误差项建立总体相对误差模型。最终,通过仿真分析得到各个误差因子对相对误差项的影响,为保证检测系统相对精度提供理论依据,能够满足对高精度惯性器件测试转台低速段0.0001(°)/s~1(°)/s速率检测要求。(本文来源于《导航与控制》期刊2017年04期）
张大军[3]（2017）在《中国航天科技集团公司第一研究院基于双频激光干涉仪的转台低速角速率精度检测研究》一文中研究指出惯性器件的研制一直是各国军事技术的核心,且各国对此实行严格的技术封锁。提高惯性器件的精度和性能,是满足我国国防装备需求和提升国防综合实力的必须。测试转台是惯性技术领域中生产和研制中的重要设备。在生产调试测试转台时,为了更加翔实、准确、可靠地得到其性能数据,需要研制有效的检测设备对其进行检测。在科学界广泛被应用的角度检测技术理论主要包括叁大类,分别是机械式测量测角技术、电磁式测量测角技术和光学系统测量测角技术。它们的测角原理不同,并实现角位置测量的方法也有所不同。随着科学技术的发展,它们的测量精度、分辨率和采样频率等性能都得到了大幅度提高。目前,对高精度转台低速角速率精度检测存在一定困难。因此,针对这一问题,本文设计并制作了一种新型角速率精度检测系统--基于双频激光干涉仪的转台低速角速率精度检测系统。本论文首先对基于双频激光干涉仪的转台低速角速率精度检测系统原理进行分析,对本检测系统各部分结构进行功能和原理介绍,并给出基于双频激光干涉仪的转台低速角速率精度检测系统数学模型。然后,结合基于双频激光干涉仪的转台低速角速率精度检测系统的数学模型,进行误差机理分析,确定误差因子,并研究各个误差因子与相对误差项的关系,并建立系统综合误差分析模型。通过仿真分析得到各个误差因子对相对误差项的影响。再根据原理和误差分析的结果,对系统的各个模块进行误差分配,选取和设计元器件,并对系统操作流程和数据处理方法提出要求,于是,本文又介绍了搭建的系统所选择的每个模块的作用和优点。同时,对检测系统的操作流程和数据处理方法和软件设计加以介绍。最后,对研制的检测系统进行试验,得到角速率实验数据,证明本检测系统可行性、精确性以及稳定性。(本文来源于《中国航天科技集团公司第一研究院》期刊2017-06-30）
吴世俊,樊洁,黄志阳,郝翔[4]（2016）在《双频激光干涉仪测量竖直轴光路调整实践》一文中研究指出本文针对双频激光干涉仪在进行各种机床、风洞运动机构等竖直轴位置精度校准时,光路调整复杂,工作效率较低,测量精度难以保证等问题,在充分分析了光路调整工作原理的基础上,设计加工了一种竖直轴专用光路调整台,并成功应用于实践,缩短了光路调整时间,极大提高了工作效率。(本文来源于《计量与测试技术》期刊2016年11期）
陈昊,陈琦,蒋贵德[5]（2016）在《基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计》一文中研究指出为实现某些光学部件或高精度测量仪器快速驱动与定位,设计并实现了一套快速精密定位系统。该精密定位系统采用双闭式气浮导轨支撑工作台,直流力矩电机通过谐波减速器减速,以摩擦驱动的方式实现快速定位。以双频激光干涉仪作为最终位置反馈,有效地在定位过程中消除了系统在运动过程中形变和应力释放带来的不确定干扰。采用带有前馈算法的PID控制技术,通过调节各参数,使系统具有快速平滑的响应特性。相对于传统设计方式,在保证精度的同时,降低了系统的复杂程度,也降低了对加工工艺的要求。经过实验测试,定位精度可达176nm,单步稳定所需时间在2 s以内,满足精密定位需求。(本文来源于《实验室研究与探索》期刊2016年11期）
于佃清[6]（2016）在《基于双频激光干涉仪的π尺的检测及不确定度评定》一文中研究指出阐述了使用双频激光干涉仪对π尺进行检测的原理和方法,并以一支Φ(500~800)mm的π尺为例进行示值误差测量,并对此种测量方法进行了不确定评定。实验结果证明,该测量方法能够方便而准确的完成π尺的检测。该种方法具有测量精度高,操作简单,测量结果可靠的优点。(本文来源于《电子世界》期刊2016年12期）
张文雅,宋健[7]（2016）在《基于双频激光干涉仪的投影光刻机工作台定位原理与故障分析》一文中研究指出介绍了双频激光干涉仪利用光的干涉和多普勒效应测距的原理以及距离的计算方法,并以此为基础介绍了双频激光干涉仪在投影光刻机工作台精确定位系统中的应用与工作原理,结合多年的投影光刻机维修经验分析了两例双频激光干涉仪及工作台系统的故障和解决步骤。(本文来源于《电子工业专用设备》期刊2016年Z1期）
蔡海蛟[8]（2015）在《皮米分辨力双频激光干涉仪相位细分技术研究》一文中研究指出近年来,引力波探测、表面科学工程、极紫外光刻等前沿领域的迅猛发展,对双频激光干涉仪测量分辨力的需求已从纳米、亚纳米量级提升至数十皮米甚至皮米量级。面对101-100量级测量分辨力需求的新挑战,传统的基于周期/频率/时间差测量的双频激光干涉信号处理方法其测量分辨力难以突破0.1 nm,而近年来日益被重视的正交锁相放大式信号处理方法,尽管其理论上可达到1pm的位移测量分辨力,但是一方面其理论误差模型尚未有效建立,导致其工作参数无法准确设计,另一方面现有正交锁相放大式相位测量技术只能应用在数mm/s以下的静态、准静态测量场合,不能满足超精密动态测量需求。本文在分析正交锁相放大式测相原理的基础上,建立了该方法的信号流程及测相误差整体模型,并通过对模型的仿真分析得到正交锁相放大式信号处理系统中各模块工作参数对测量分辨力、测量带宽的影响,并着重解决影响测量分辨力和测量带宽的直流偏置、和频分量数字滤波、动态噪声抑制等问题。本文主要研究工作如下:首先,建立了正交锁相放大式测相方法的信号变换流程及测相误差整体模型,并进行相应的数值仿真,以分析正交锁相放大式测相系统中数据采集、硬件乘法器、和频分量数字滤波、反正切数字解调等模块工作特性对相位测量分辨力和相位测量带宽的影响。在此基础上,结合皮米分辨力高速双频激光干涉测量对应的数据采集速度、数据采集分辨力、信号直流偏置补偿、差频和频信号抑制比、反正切数字解调字长等具体需求,提出理论分辨力为15pm、最大测量速度为1.5m/s的皮米分辨力双频激光干涉仪相位细分系统总体设计方案。针对现有正交锁相相位测量方法中为保证高和频差频抑制比而采用窄带宽滤波器的问题,首先使用高带宽线性相位的FIR数字滤波器,在略微放宽差频和频信号抑制比的前提下将系统的最大测量速度由数mm/s提升到1.5m/s,实现了对位移的高分辨力高速动态测量,同时针对略微放宽差频和频信号抑制比引入的高频噪声问题,在相位输出环节加入卡尔曼数字滤波器以有效降低输出相位的噪声。最后,采用电信号模拟的方法对本文研制的基于正交锁相放大原理的双频激光干涉信号细分卡进行了实际的测试。实验证明,本系统设计的正交锁相相位测量方法中硬件乘法器、和频分量数字滤波、反正切数字解调等模块实现了预期的设计目标,系统整体实现了0.03°的角度分辨力,等效位移测量分辨力为27pm,最大测量速度达到了±1.5m/s,在测量范围内位移测量结果静态标准差小于10pm、动态标准差小于27pm,证明了系统测量分辨力的有效性。(本文来源于《哈尔滨工业大学》期刊2015-06-01）
钟朝阳,侯文玫,句爱松,官志超[9]（2015）在《双频激光干涉仪的混频分析与研究》一文中研究指出针对以往文献提出的探测非线性误差方案比较复杂,通常不容易实行的缺点,设计了一套简单有效的系统,用以区分由光源偏振态非理想和偏振分光镜(PBS)漏光引起混频造成的非线性误差。实验结果表明,光先后两次经过PBS后漏光分量将会大大减少,相对于由光源非正交分量引起的混频误差可以忽略不计。为了最大限度地减小安装误差,提出了一种切实有效地调整PBS的方法,确保入射光水平分量的偏振面平行于偏振分光镜的参照面,并以布儒斯特角入射。(本文来源于《光学技术》期刊2015年02期）
薛媛,陈青山,刘力双,吕勇[10]（2015）在《基于双频激光干涉仪的显微模板精密测量》一文中研究指出为了对光纤阵列测量的高精度显微模板进行精密检测,采用双频激光干涉仪结合显微视觉系统,通过骨架化、腐蚀法、质心法等算法对显微图像进行计算处理,实现模板特征刻线的提取与精确定位。对模板上8条刻度线之间的间距分别进行重复测量和组合测量,实验结果表明重复测量的标准偏差不大于0.07μm,组合测量的标准偏差不大于0.04μm。介绍了测量系统构成与工作原理,并对测量过程进行了精度分析,分析结果表明测量过程的极限误差不大于0.10μm。(本文来源于《应用光学》期刊2015年02期）
双频激光干涉仪论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
为了能够精确检测到测试转台在低速运行下的角速率,设计了一种基于双频激光干涉仪的角速率精度检测系统。首先,对本检测系统各项误差进行机理分析。然后,综合各项误差项建立总体相对误差模型。最终,通过仿真分析得到各个误差因子对相对误差项的影响,为保证检测系统相对精度提供理论依据,能够满足对高精度惯性器件测试转台低速段0.0001(°)/s~1(°)/s速率检测要求。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
双频激光干涉仪论文参考文献
[1].吴嗣珊.双频激光干涉仪的非线性误差与光学细分关系的研究[D].江西师范大学.2018
[2].张大军,刘合朋,刘军,闵跃军,钟正虎.基于双频激光干涉仪的角速率检测系统精度分析[J].导航与控制.2017
[3].张大军.中国航天科技集团公司第一研究院基于双频激光干涉仪的转台低速角速率精度检测研究[D].中国航天科技集团公司第一研究院.2017
[4].吴世俊,樊洁,黄志阳,郝翔.双频激光干涉仪测量竖直轴光路调整实践[J].计量与测试技术.2016
[5].陈昊,陈琦,蒋贵德.基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计[J].实验室研究与探索.2016
[6].于佃清.基于双频激光干涉仪的π尺的检测及不确定度评定[J].电子世界.2016
[7].张文雅,宋健.基于双频激光干涉仪的投影光刻机工作台定位原理与故障分析[J].电子工业专用设备.2016
[8].蔡海蛟.皮米分辨力双频激光干涉仪相位细分技术研究[D].哈尔滨工业大学.2015
[9].钟朝阳,侯文玫,句爱松,官志超.双频激光干涉仪的混频分析与研究[J].光学技术.2015
[10].薛媛,陈青山,刘力双,吕勇.基于双频激光干涉仪的显微模板精密测量[J].应用光学.2015
论文知识图
