半导体硅电极多通道放电机理研究

半导体硅电极多通道放电机理研究

论文摘要

为了实现电火花加工同一时刻形成多个放电通道蚀除工件,克服现有放电加工理论中同一时刻仅有一个放电通道蚀除工件的限制,提出了采用半导体材料作为电极进行放电加工的新方法。首先,通过试验证明以半导体硅为电极加工金属可以形成多通道放电;其次,建立了半导体电极单通道放电等效电路模型,发现半导体电极在放电加工时不是一个等势体,并进行了电势差分布试验,验证了多通道放电形成的原因是远离放电点处的电势较高,可以同时形成击穿产生放电;最后,进行了半导体硅电极单脉冲放电试验及成型加工试验。试验结果显示,半导体硅电极通过1次脉冲放电同时形成多个放电通道,有效地分散放电能量,相较于金属电极,每个放电坑的直径和深度都显著减小。在相同放电参数下,对比钢电极,用硅电极进行电火花加工的表面粗糙度值下降71.7%。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 邱明波,傅炯波,段亚俊,沈理达,韩云晓

关键词: 电火花,半导体电极,多通道放电,放电等效电路,极间电势分布

来源: 机械工程学报 2019年21期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑,信息科技

专业: 金属学及金属工艺,无线电电子学

单位: 南京航空航天大学机电学院

基金: 国家自然科学基金(51675272,U1532106),南京航空航天大学基本科研业务(NS2014053)资助项目

分类号: TG661;TN304.12

页码: 208-214

总页数: 7

文件大小: 1184K

下载量: 113

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