论文摘要
采用1 064 nm激光器在单纵模和多纵模模式下对单晶硅材料的损伤特性进行研究,测试和分析单晶硅损伤阈值和损伤形貌差异,损伤机理以及激光模式对周期性结构的影响。结果表明,激光模式对单晶硅材料的损伤阈值和损伤面积的影响小。因单晶硅材料对激光的强吸收,直接导致单晶硅表面的熔融烧蚀破坏、热应力和等离子体的产生。随着激光能量的增大,由于热应力和等离子体冲击波的存在,使损伤面积以指数形式增大,熔融物质形成喷溅而后消失。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 肖超,王毕艺,官上洪,张发旺,杨静,陈怡妍,王钰倩,邱荣,郭德成,蒋勇
关键词: 纳秒激光,激光模式,单晶硅,周期性条纹,损伤演化
来源: 激光杂志 2019年11期
年度: 2019
分类: 信息科技,基础科学
专业: 物理学,无线电电子学
单位: 西南科技大学中国工程物理研究院激光聚变研究中心极端条件物质特性联合实验室,光电信息控制和安全技术重点实验室
基金: 国家自然科学科学基金资助项目(No.61505170,61775235,61705205,U1530109,61505171),西南科技大学龙山人才计划资助项目(No.17LZX669,18LZX516),大学生创新创业计划项目(No.S201910619073,S201910619039)
分类号: TN249;TN304.12
DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2019.11.067
页码: 67-70
总页数: 4
文件大小: 1683K
下载量: 158
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