碲锌镉晶片研抛加工表面层损伤的研究

碲锌镉晶片研抛加工表面层损伤的研究

论文摘要

介绍了碲锌镉晶片背面研抛机的工艺过程和原理,研究了研抛工艺中砂轮粒度、砂轮进给率、砂轮转速和工作台转速对晶片表面层损伤深度的影响。

论文目录

  • 1 晶片研抛机工艺过程和原理
  •   1.1 晶片研抛机工艺过程
  •   1.2 晶片研抛机研抛原理
  • 2 实验研究
  •   2.1 工艺操作步骤
  •   2.2 砂轮粒度对损伤深度的影响
  •   2.3 砂轮转速、工作台转速及砂轮进给率对损伤深度的影响
  •   2.4 结果分析
  • 3 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 张文斌,郭俊伟,葛劢翀

    关键词: 碲锌镉,研抛,表面层损伤

    来源: 电子工业专用设备 2019年05期

    年度: 2019

    分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑

    专业: 金属学及金属工艺,无线电电子学

    单位: 中国电子科技集团公司第四十五研究所

    分类号: TN305;TG580.6

    页码: 26-28+47

    总页数: 4

    文件大小: 1956K

    下载量: 37

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