论文摘要
由于液晶显示器(LCD)工业和半导体芯片工业在中国迅速普及,用于清洗和蚀刻的电子级磷酸的需求正在日益增加,对磷酸中金属离子含量的要求也越来越高,为满足中国对电子级磷酸的需求,此方向成为许多研究学者研究的重点。本文介绍了近年来电子级磷酸的研发现状,以及在LCD工业和半导体芯片工业的应用,并对芯片级磷酸进行了展望。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 范相虎,周聪,袁军,郭嘉
关键词: 电子级磷酸,制备,应用,芯片级
来源: 粘接 2019年05期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑,信息科技
专业: 无机化工,无线电电子学
单位: 武汉工程大学绿色化工过程教育部重点实验室
分类号: TN405;TQ126.35
页码: 61-64
总页数: 4
文件大小: 1496K
下载量: 180
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