微电子机械系统微机械论文_洪永强,蒋红霞

导读:本文包含了微电子机械系统微机械论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:技术,微电子,微机,加工,机械,系统,低温。

微电子机械系统微机械论文文献综述

洪永强,蒋红霞^[1]（2003）在《微电子机械系统及硅微机械加工工艺》一文中研究指出微电子机械系统(MEMS)是一项21世纪可以广泛应用的新兴技术。硅微机械加工工艺是近年来随着集成电路工艺发展起来的MEMS主流技术。介绍了MEMS的特点、国内外MEMS的发展现状,讨论了MEMS的叁种加工方法,着重探讨了硅微机械加工中常用的腐蚀、键合、光刻、氧化、扩散、溅射等工艺。(本文来源于《电子工艺技术》期刊2003年05期）

王渭源,鲍敏杭,赖宗声,陆德仁,沈绍群^[2]（1998）在《用于微机械器件和微电子机械系统的关键技术——微机械技术》一文中研究指出微机械技术是研究，生产微机械器件和微电子机械系统的关键技术，熟练掌握并不容易。本文总结了叁个单位为时数年在微机械技术方面的研究成果，重点介绍我们首创的叁项技术，即自对准的准叁维加工技术，硅叁维结构的无掩模腐蚀技术和硅／硅低温直接键合技术，也提到我们开展过的其他几项微机械技术以及所制作的几种微机械器件的参数或结果。(本文来源于《功能材料与器件学报》期刊1998年04期）

微电子机械系统微机械论文开题报告

（1）论文研究背景及目的

此处内容要求：

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例：

微机械技术是研究，生产微机械器件和微电子机械系统的关键技术，熟练掌握并不容易。本文总结了叁个单位为时数年在微机械技术方面的研究成果，重点介绍我们首创的叁项技术，即自对准的准叁维加工技术，硅叁维结构的无掩模腐蚀技术和硅／硅低温直接键合技术，也提到我们开展过的其他几项微机械技术以及所制作的几种微机械器件的参数或结果。

（2）本文研究方法

调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。