磁流变抛光非球柱面镜的新工艺

论文摘要

高精密的柱面镜光学元件,不但要求其具有极低的表面粗糙度、无表面/亚表面损伤和低的残余应力等,而且需要保证其柱面母线的平行度与垂直度。通过分析传统磨研抛技术和计算机控制的光学表面成型技术（CCOS） 2种技术对柱面镜加工后的表面粗糙度、面形精度和母线误差的影响,归纳2种加工方法的优缺点,针对现有加工方法存在的低效率、高粗糙度、表面/亚表面损伤等问题提出一种具有对称结构的非球柱面镜磁流变抛光新工艺,并通过时间参数实验验证了新工艺的可行性。该工艺降低了柱面镜的表面粗糙度,提高了面型精度,在抛光时间为40 min时,表面粗糙度Ra从1.84μm降低至0.36μm,局部面型精度RMS1从1.91μm降低到0.24μm,母线截面面型精度RMS2从4.1μm下降到0.68μm。

论文目录

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 罗斌,阎秋生

关键词: 柱面镜,磁流变抛光,表面粗糙度,面型精度

来源: 金刚石与磨料磨具工程 2019年02期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 广东工业大学机电工程学院

基金: NSFC–广东联合基金(No.U180120098),广东省科技计划项目(No.2016A010102014)

分类号: TG580.692

DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.2.0013

页码: 64-71

总页数: 8

文件大小: 2034K

下载量: 237

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