论文摘要
近年来,为了使加工技术更加精准、无误差,各国研究者投入到了微加工领域的研究。而飞秒激光以其极高的峰值、较小的损伤阈值、高的聚焦力,使其成为国内外在微加工领域的热点研究对象。总结了近年来飞秒激光在微加工领域的研究进展,并从微加工金属材料、集成光学、生物医疗、纳米加工领域进行综述,最后指出飞秒激光发展到现在所存在的问题及对未来的期想。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 杨涵,于希辰,吴一帆,刘海青,李东亚
关键词: 微加工,飞秒激光,损伤阈值,集成光学
来源: 应用激光 2019年02期
年度: 2019
分类: 信息科技,基础科学
专业: 物理学,无线电电子学
单位: 苏州大学应用技术学院,同济大学航空航天与力学学院
基金: 江苏省大学生创新创业训练计划资助项目(项目编号:201813984013X)
分类号: TN249
DOI: 10.14128/j.cnki.al.20193902.346
页码: 346-354
总页数: 9
文件大小: 1550K
下载量: 663
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