厚膜成膜工艺与电阻稳定性关系的研究

厚膜成膜工艺与电阻稳定性关系的研究

论文摘要

重点研究印刷工艺、烧结工艺、激光调阻工艺中影响电阻稳定性的因素。在印刷工艺环节中,发现不同厂家生产的电阻浆料的电阻阻值稳定性有所不同,而对于同一厂家生产的电阻浆料印刷试验片,电阻厚度越厚,电阻稳定性越好。在烧结工艺过程中,正常曲线下烧结的电阻实验片降温速率慢,电阻稳定性越好。同时在烧结气流量稳定的情况下,电阻浆料充分参与氧化还原反应,电阻稳定性好。激光调阻工艺中,激光功率,激光频率以及光斑重复率都对电阻稳定性有一定的影响。总之,在生产过程中确保印刷、烧结、激光调阻工艺参数精益求精,使厚膜电阻达到较高的稳定性,进而才能提高产品合格率。

论文目录

  • 0 引言
  • 1 实验
  •   1.1 印刷工艺中影响厚膜电阻稳定性的因素
  •     1.1.1 浆料对电阻稳定性的影响
  •     1.1.2 膜层厚度对电阻稳定性的影响
  •   1.2 烧结工艺中影响厚膜电阻稳定性的因素
  •     1.2.1 不同烧结曲线的设置对电阻稳定性的影响
  •     1.2.2 不同烧结气氛对电阻稳定性的影响
  •   1.3 调阻工艺中影响厚膜电阻稳定性的因素
  •     1.3.1 激光功率对电阻稳定性的影响
  •     1.3.2 激光频率对电阻稳定性的影响
  •     1.3.3 光斑重复率对电阻稳定性的影响
  • 2 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 王丽莎,刘利,任荣,薛静蓉

    关键词: 厚膜电阻,稳定性,影响因素

    来源: 电子测试 2019年21期

    年度: 2019

    分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑

    专业: 电力工业

    单位: 陕西华经微电子股份有限公司

    分类号: TM54

    DOI: 10.16520/j.cnki.1000-8519.2019.21.024

    页码: 81-83+52

    总页数: 4

    文件大小: 1128K

    下载量: 112

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