导读:本文包含了均束器论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:光学设计,高斯光束,均束器,ZEMAX
均束器论文文献综述
李玉瑶,王菲,车英[1]（2013）在《高斯光束均束器光学系统设计》一文中研究指出为了提高激光光束的应用水平,需要将高斯光束整形为平顶光束。分析了非球面高斯光束均束器的基本原理和设计理论,选用超高斯光束函数作为平顶光束的数学-物理模型,建立了入射高斯光束与出射平顶光束之间的映射关系式,给出了高阶非球面的面型参数,利用光学设计软件ZEMAX设计了高斯光束均束器光学系统。系统入射光束直径为2mm,出射光束直径为4mm,激光波长为1064nm。分析了能量转换效率,根据Bessel公式定义了平顶光束的平顶度。设计结果实现了激光束的2倍准直扩束、95.98%的能量转换效率和96.6%的平顶度。(本文来源于《光电工程》期刊2013年07期）
杜国军,陈涛,左铁钏[2]（2005）在《应用于准分子激光的透镜阵列均束器》一文中研究指出设计了一套基于积分原理的准分子激光透镜阵列均束系统。通过对 18 块 4 mm×40 mm的柱面透镜迭放,组成9×9级的透镜阵列,将光束分成81束,彼此独立传播,实现了对准分子激光原始光束分束、放大。随后利用收集透镜将每束光迭加在同一位置,得到了在13 mm×13 mm范围内能量均匀度误差小于±5.00的光强分布。克服了原始光斑内部能量分布不够均匀的缺点,达到了准分子激光掩模投影加工的光束质量要求。相比于激光直写的加工方式,提高了加工效率。(本文来源于《光电子·激光》期刊2005年03期）
李呈德,陈涛,左铁钏[3]（1999）在《两级复眼式准分子激光微加工均束器的设计》一文中研究指出介绍了一种两级复眼式均束器的设计。它不仅均匀效果好，传输效率高，输出光束截面尺寸连续可调，而且为掩模投影式准分子激光微加工系统提供了恰当的照明数值孔径，是准分子激光进行微机械、微光学、微电子等微细加工的优良照明系统。(本文来源于《中国激光》期刊1999年06期）
均束器论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
设计了一套基于积分原理的准分子激光透镜阵列均束系统。通过对 18 块 4 mm×40 mm的柱面透镜迭放,组成9×9级的透镜阵列,将光束分成81束,彼此独立传播,实现了对准分子激光原始光束分束、放大。随后利用收集透镜将每束光迭加在同一位置,得到了在13 mm×13 mm范围内能量均匀度误差小于±5.00的光强分布。克服了原始光斑内部能量分布不够均匀的缺点,达到了准分子激光掩模投影加工的光束质量要求。相比于激光直写的加工方式,提高了加工效率。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
均束器论文参考文献
[1].李玉瑶,王菲,车英.高斯光束均束器光学系统设计[J].光电工程.2013
[2].杜国军,陈涛,左铁钏.应用于准分子激光的透镜阵列均束器[J].光电子·激光.2005
[3].李呈德,陈涛,左铁钏.两级复眼式准分子激光微加工均束器的设计[J].中国激光.1999