汽车用316L不锈钢表面磁控溅射TaN涂层组织及耐磨性能分析

论文摘要

为了提高汽车用316L不锈钢表面磁控溅射TaN涂层的耐磨性能,研究分析了不同N2流量下TaN涂层的组织和性能。结果表明:通入的N2流量很小时,形成的TaN涂层表面相对粗糙,形成了"山脊状"的团聚颗粒; N2流量为5 m L/s时,形成的TaN涂层表面相对平坦,具有"菜花状"的小尺寸团聚晶簇。随着N2流量的上升,将使吸附原子的活性减小,由于(110)晶面属于bcc结构的密排面,对应的能量最低,这使得(110)晶面可以包含更多低能量原子。当N2流量升高后,涂层内N掺杂浓度更高,使得涂层的硬度与弹性模量都增大,涂层获得更优的耐磨性。通入N2后,所有TaN涂层比不通入N2得到的涂层的磨损率明显减小,磁控溅射过程掺杂N元素后涂层的耐磨性更佳。

论文目录

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 李红英

关键词: 涂层,磁控溅射,流量,组织,磨损性能

来源: 材料保护 2019年11期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 江西科技学院汽车工程学院

基金: 江西省高等学校教学改革研究省级立项课题(JXJG-17-24-3)资助

分类号: TG174.4

DOI: 10.16577/j.cnki.42-1215/tb.2019.11.014

页码: 72-76

总页数: 5

文件大小: 2068K

下载量: 69

相关论文文献

• [1].电容式电压互感器介质损耗tanδ%测试方法分析与验证[J]. 贵州电力技术 2017(03)
• [2].TaN薄膜电阻的功率加载特性研究[J]. 电子元件与材料 2015(03)
• [3].tanθ和μ的关系是分析斜面问题的抓手[J]. 中学生理科应试 2017(03)
• [4].空间干扰对电容式套管介质损耗因数(tanδ)测量结果影响的分析[J]. 高压电器 2008(01)
• [5].选定根节点的TAN分类器[J]. 滨州学院学报 2008(03)
• [6].基于新的属性依赖的TAN分类器[J]. 计算机与数字工程 2008(11)
• [7].TAN贝叶斯网络模型在前列腺癌中的预测研究[J]. 中华男科学杂志 2016(06)
• [8].负偏压对磁控溅射TaN薄膜微观结构和性能的影响[J]. 中国有色金属学报 2013(07)
• [9].主变高压套管介质损耗因数tanδ试验的新方法[J]. 电力安全技术 2015(03)
• [10].TAN分类器结构等价类空间及其在分类器学习算法中的应用[J]. 北京邮电大学学报 2012(01)
• [11].基于有向树算法构造的TAN分类器[J]. 计算机工程与设计 2008(13)
• [12].采用tanδ表征变频电机绞线对绝缘老化特性的研究[J]. 高电压技术 2010(07)
• [13].电容性设备介质损耗角tanδ的监测技术研究[J]. 仪表技术与传感器 2014(03)
• [14].多晶TaN_(1-δ)薄膜的电输运性质研究[J]. 物理学报 2015(19)
• [15].基于tan δ积分值的乙丙橡胶绝缘电缆含水量评估[J]. 大连理工大学学报 2013(02)
• [16].电容式电压互感器tan δ预防性试验误判一例[J]. 电世界 2015(06)
• [17].发电机定子线棒tanδ影响因素的分析[J]. 绝缘材料 2013(05)
• [18].超薄α-Ta(N)/TaN双层扩散阻挡层的微观结构与热稳定性[J]. 功能材料 2013(02)
• [19].应用经验模态分解法的tanδ在线监测数据趋势提取[J]. 高电压技术 2009(12)
• [20].梯度α-Ta(N)/TaN扩散阻挡层的微结构与热稳性定[J]. 四川大学学报(自然科学版) 2012(01)
• [21].碳化钽(TaC)和氮化钽(TaN)的价电子结构[J]. 中国科学(G辑:物理学 力学 天文学) 2008(02)
• [22].不同工艺下TaN薄膜中残余应力的研究[J]. 陶瓷 2019(08)
• [23].应用于AlGaN/GaN HEMTs MMIC薄膜电阻的特性与可靠性(英文)[J]. 半导体学报 2008(07)
• [24].MEMS微波/毫米波TaN薄膜负载电阻的设计与实现[J]. 微纳电子技术 2017(05)
• [25].丹参酮ⅡA(TanⅡA)对内皮细胞的氧化损伤及凋亡的影响[J]. 中药药理与临床 2017(01)
• [26].对CVT介质损耗角tanδ预试标准理解的探讨[J]. 智能电网 2014(10)
• [27].TaN薄膜在微波薄膜匹配负载器件中的应用[J]. 微波学报 2014(S1)
• [28].基于TAN的最小决策损失诊断模型及其推理机制[J]. 工业工程与管理 2014(02)
• [29].气压及偏压对磁控溅射TaN薄膜力学性能影响[J]. 真空科学与技术学报 2013(01)
• [30].单粒子在TaN(001)表面迁移行为的第一性原理计算[J]. 稀有金属与硬质合金 2014(01)

标签：涂层论文;  磁控溅射论文;  流量论文;  组织论文;  磨损性能论文;