论文摘要
采用溶胶-凝胶工艺制备CuAlO2透明导电薄膜,研究退火气氛、温度及溶胶浓度对薄膜结构和光电性能的影响。研究表明:薄膜在真空退火下存在金属Cu,导电性能良好;氩气下退火为3R晶型的CuAlO2,导电性能较好;空气下退火CuAlO2相分解为CuAl2O4和CuO,几乎不导电。700℃或更低温度退火不能使CuAlO2薄膜充分晶化,但超过800℃时,薄膜中会出现较多孔洞与裂纹。750℃下退火薄膜的导电性最佳,800℃退火薄膜具有最高的透光率和最大带隙值。溶胶浓度为0.35 mol/L时,薄膜电导性最好,超过0.35 mol/L后,薄膜的透光率随溶胶浓度的增大而显著降低。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 刘思佳,王华,许积文,杨玲
关键词: 透明导电薄膜,溶胶凝胶,工艺条件
来源: 太阳能学报 2019年12期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 材料科学,工业通用技术及设备
单位: 桂林电子科技大学材料科学与工程学院
基金: 广西研究生创新项目（2010105950809M37）
分类号: TB383.2
页码: 3451-3456
总页数: 6
文件大小: 3106K
下载量: 81
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