论文摘要
本工作探讨了微纳米量级聚酰亚胺（PI）自支撑薄膜的制备。以4,4’-二氨基二苯醚（ODA）和均苯四甲酸二酐（PMDA）为单体合成聚酰胺酸（PAA）溶液。经热亚胺化后脱膜得到厚度为900nm的自支撑PI薄膜。亚胺化程度用傅里叶变换红外光谱仪（FT-IR）测试,表面形貌用透射式显微镜观测。结果显示,在低于250℃下制备的ZnO薄膜适合作为脱膜剂;采用KrF准分子激光对薄膜刻蚀,当能量密度为45mJ/cm2时刻蚀110个脉冲,得到了表面平整且厚度为300nm的自支撑PI薄膜。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 刘仁臣,陆静
关键词: 聚酰亚胺,自支撑,脱膜,激光刻蚀
来源: 材料导报 2019年S2期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 材料科学
单位: 吉林大学珠海学院物理教学中心
基金: 广东省普通高校重点科研平台和科研项目(2018KTSCX306),吉林大学珠海学院创新培育工程重点项目(2018XJCQSQ047),高等教育教学研究与改革项目(ZLGC20191004,2019JZDJ034)~~
分类号: TB306
页码: 580-583
总页数: 4
文件大小: 5089K
下载量: 53
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