论文摘要
在较低的温度下,采用磁控溅射工艺在聚碳酸酯（PC）表面制备了TiN薄膜。应用激光共聚焦显微镜（CLSM）和X射线衍射仪（XRD）等研究了薄膜制备工艺对薄膜的表面微观形貌和晶质成分影响。结果表明:随着基底温度的升高,溅射的薄膜厚度和表面粗糙度增大。溅射的薄膜中,晶粒呈圆锥形,随着N2含量的增加,溅射的薄膜粗糙度逐渐下降,晶粒较小,分布较均匀。XRD衍射结果表明,溅射的薄膜晶质成分为TiN。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 邓爱民,梁佳静,张国家
关键词: 氮化钛薄膜,聚碳酸酯基体,磁控溅射
来源: 电镀与精饰 2019年05期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 有机化工
单位: 沈阳理工大学材料科学与工程学院
分类号: TQ320.673
页码: 1-3
总页数: 3
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