论文摘要
真空磁控溅射设备的真空度高低及稳定性直接决定了镀膜产品性能,真空条件控制是镀膜的关键技术之一。通过开发使用罗茨泵关键零部件的安装、拆卸装置,可以有效降低罗茨泵的日常自主保养成本和周期。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 胡冰
关键词: 真空磁控溅射,镀膜,罗茨泵,维护保养
来源: 玻璃 2019年08期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 天津南玻节能玻璃有限公司
分类号: TQ171.6
页码: 42-46
总页数: 5
文件大小: 1801K
下载量: 91
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