论文摘要
建立了参考物镜与数值拟合相结合的方法,对离轴数字全息显微系统的相位畸变进行补偿.因为物镜带来的光波曲率差异,预放大数字全息显微系统往往产生附加相位因子.在参考光路中引入相同参考物镜,利用物理方法初步消除因为曲率问题带来的相位畸变.参考物镜加入以后,相位畸变主要来自三个方面.衍射计算时使用数字模拟平面参考光,离轴结构存在空间角,产生一次相位畸变;实际记录到的全息图,参考物镜实验误差导致了残余二次相位畸变;光路中其他光学元件形成像差,无法获取正确的微结构三维形貌.数值上通过多项式对整个相位表面作曲面拟合,利用相位表面与该拟合曲面的差值,提取样品真实相位分布.只用一幅全息图,经过一次多项式拟合便实现了多次相位畸变的自动补偿.以USAF分辨率板作为微结构样品作形貌测量,验证了该方法的准确有效.
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 马树军,周鹏飞,刘炜华
关键词: 离轴,数字全息,显微,参考物镜,多项式拟合,畸变补偿
来源: 东北大学学报(自然科学版) 2019年08期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,基础科学
专业: 物理学,仪器仪表工业
单位: 东北大学机械工程与自动化学院
基金: 国家自然科学基金资助项目(51505076),辽宁省自然科学基金资助项目(2015020105),中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(N140304010,N150308001),辽宁省高等学校创新团队项目(LT2014006)
分类号: O438.1;TH742
页码: 1144-1148+1171
总页数: 6
文件大小: 1569K
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