物理气相传输法制备层状MoS2薄膜

论文摘要

以化学气相沉积（CVD）方法在蓝宝石衬底上沉积一层较厚的MoS2膜作为前驱体,使用物理气相传输（PVT）方法制备了层状MoS2薄膜。用光学显微镜、扫描电子显微镜、喇曼光谱和光致发光光谱对制备的层状MoS2膜表面形貌、层数、光学特性进行了研究。分析了源和衬底距离对MoS2薄膜沉积的影响,发现距离较近有利于成核概率增大,形成连续膜,但是易引入不稳定因素导致立体生长的MoS2纳米片,同时观察到出现树枝状生长,这是由于前驱体质量过剩引起的部分晶面生长速率过高导致的。喇曼光谱测试表明,薄膜大部分为单层膜和双层膜,有少量的多层膜,膜的光致发光光谱强度与层数有关,单层膜光致发光光谱强度最强。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 钱盛亚,杨瑞霞,兰飞飞

关键词: 物理气相传输方法,蓝宝石衬底,表面形貌,层状薄膜

来源: 半导体技术 2019年06期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备

单位: 河北工业大学电子信息工程学院,天津市电子材料与器件重点实验室,中国电子科技集团公司第四十六研究所

基金: 国家自然科学基金资助项目(61774054)

分类号: TQ136.12;TB383.2

DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2019.06.011

页码: 459-463

总页数: 5

文件大小: 1651K

下载量: 117

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