导读:本文包含了膜基结合力论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:金刚石涂层铣刀,结合力,喷砂预处理,过渡层
膜基结合力论文文献综述
熊超[1]（2018）在《金刚石涂层刀具的膜基结合力改善途径与性能研究》一文中研究指出在石墨电极材料的加工领域,一般的硬质合金铣刀高速切削时磨损严重,而金刚石涂层铣刀在抗磨损方面具备明显的优势。为了使金刚石涂层铣刀拥有好的加工质量和长的使用寿命,首先要保证良好的膜基结合力,其次需提高金刚石膜的结晶质量及耐磨性。本文利用热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜,重点研究了喷砂、化学刻蚀和过渡层等多种改善膜基结合力的方法。在获得高膜基结合力的基础上,探究超低摩擦系数且耐磨的超细晶金刚石薄膜制备工艺,制备出高结合力的超细晶金刚石涂层铣刀,研究了其对石墨的高速切削性能、使用寿命及失效情况,并与无涂层硬质合金铣刀对比。本文采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪、3D形貌仪、超景深显微镜、球盘式摩擦磨损仪及洛氏硬度计等分析检测设备对试样的组织结构、表面形貌、结合力及性能等进行了表征。主要研究工作和成果如下:(1)采用喷砂正交试验确定了综合效果最优的喷砂预处理工艺,且发现Murakami试剂浸蚀也不可或缺,喷砂处理增强了金刚石晶粒与基体间的机械锁合作用,而碱处理能增加酸处理刻蚀Co的深度。优化后的喷砂工艺加两步法刻蚀的复合预处理工艺不仅提高了金刚石的形核密度及均匀性,并有效减少了金刚石晶粒的团聚现象,进而提高薄膜的生长速度及表面质量,膜基结合力达到HF1级。(2)制备了Cr、WC、AlCrN、Cr/WC及Ti/WC五种过渡层,厚度分别为600 nm、500 nm、2μm、1.4μm和600 nm。Cr过渡层的金刚石形核密度为5.2×10~8 cm~(-2),对金刚石薄膜的结合力略有改善,达到HF3级,但其他四种过渡层对金刚石薄膜结合力的改善效果均不理想,其中Ti/WC层对Co扩散的抑制作用最差。(3)探究了超细晶金刚石薄膜制备工艺,甲烷(CH_4)、氩气(Ar)和氢气(H_2)为反应气体,Ar浓度从70%增大至90%时,晶粒尺寸和粗糙度均减小。Ar浓度90%时,晶粒平均尺寸最小,为300 nm,表面粗糙度最低,为90 nm,且耐磨性最佳。(4)制备了超细晶金刚石涂层铣刀,并检测其对石墨的高速铣削性能,并与无涂层铣刀对比,表明金刚石涂层铣刀的寿命相比无涂层铣刀提高了约67%。(本文来源于《华南理工大学》期刊2018-04-15）
郑家乐,赵先锐,徐锋,曹振雨,李妮[2]（2018）在《基体预处理对CrN涂层刀具表面粗糙度和膜基结合力的影响》一文中研究指出通过M2高速钢基体抛光预处理工艺,获得表面粗糙度和膜基结合强度良好的Cr N硬质涂层。采用正交法设计了不同压力、砂料、干湿方式等喷砂工艺参数进行高速钢基体预处理工艺研究。对预处理后的基体采用多弧离子镀技术沉积Cr N硬质涂层。通过扫描电镜、XRD、粗糙度仪和划痕测试仪等仪器检测分析了Cr N涂层的形貌、涂层物相结构、涂层粗糙度和涂层结合力等组织性能。喷砂压力较大和砂料硬度较高时,其涂层粗糙度较大,膜基结合强度较小。对采用玻璃珠砂料在2bar压力下进行干喷砂预处理后的基体进行涂层处理,其涂层综合性能最好,其膜基结合力为78N,涂层表面粗糙度为0.369μm,涂层厚度约为5μm,涂层厚度均匀,涂层表面比较平整致密,基本未见明显的孔洞结构。(本文来源于《化学工程师》期刊2018年02期）
李柏松,王铁钢,侯翔,唐宽瑜[3]（2017）在《N_2/Ar流量比对HiPIMS技术制备AlCrSiN刀具涂层膜基结合力的影响》一文中研究指出近年来多元纳米复合涂层的发展,为制备高速切削、干式切削高质量涂层刀具提供了更优异的解决方案。采用国际新型高功率脉冲磁控溅射技术,制备了不同N_2/Ar流量比的AlCrSiN高铝含量纳米复合涂层。运用电子扫描显微镜、纳米划痕仪对涂层力学性能进行表征。结果表明:N_2/Ar流量比的增加使AlCrSiN涂层膜基结合强度显着下降。N_2/Ar=1/4时临界载荷最大为66N.临界载荷的变化由沉积粒子动能主导同时与涂层显微结构的演化以及HiPIMS技术的工艺特点密切相关。(本文来源于《装备制造技术》期刊2017年12期）
曾舟,肖峰,苗景国,杜娟[4]（2017）在《基于划痕试验的超硬铝7A04微弧氧化膜基结合力的测试与评定》一文中研究指出目前基于划痕试验法的金属防护层与基体结合力的研究大多是针对微弧氧化膜外的其他硬质膜层,且鲜有验证性试验。采用微弧氧化技术在7A04超硬铝合金表面成功制备出陶瓷膜层并观察了其微观形貌,利用WS-2005膜层附着力自动划痕仪在膜层上进行了划痕试验,采集了声发射信号,利用数显材料显微镜观察声发射图谱特征声信号峰对应划痕处的微观形貌,检测了划痕附近膜层显微硬度,判定了干扰信号,对膜基结合力进行了综合分析和评定。结果表明:7A04铝合金微弧氧化陶瓷膜层表面呈"火山喷射口"层迭状,划痕试验中膜层破坏仅发生在划痕内部,划痕周围没有发生大面积崩落,膜层与基体间结合力良好。(本文来源于《材料保护》期刊2017年11期）
许俊华,薛雅平,鞠洪博,贺盛,陈敏[5]（2016）在《负偏压对磁控溅射制备Ru薄膜微结构、膜基结合力及耐蚀性能的影响》一文中研究指出采用磁控溅射法在Mo衬底上制备了不同负偏压的Ru薄膜,利用XRD、台阶仪、XPS、AFM、纳米划痕仪和电化学工作站对薄膜相结构、表面形貌、膜基结合力以及腐蚀电化学性能进行了研究.结果表明:当负偏压在0~100 V时,薄膜六方结构(hcp),具有(002)择优取向.随负偏压的升高,薄膜中出现面心立方(fcc)Ru O2相,此时薄膜两相共存,即hcp-Ru+fcc-Ru O2.薄膜表面粗糙度随负偏压的升高先降低后升高,当负偏压为100 V时,薄膜表面粗糙度最低,其最低值为0.639 nm.薄膜的膜基结合力及在3.5%Na Cl溶液中的耐蚀性能先升高后降低,当负偏压为100 V时,膜基结合力及耐蚀性能最佳.(本文来源于《江苏科技大学学报(自然科学版)》期刊2016年05期）
鞠洪博,贺盛,陈彤,陈敏,郭丽萍[6]（2016）在《本底真空度对磁控溅射制备Ru薄膜微观结构、膜基结合力及耐蚀性能的影响》一文中研究指出采用射频磁控溅射法在功率用半导体散热片Mo上制备了不同本底真空度的Ru薄膜,利用能谱仪、X射线衍射仪、纳米划痕仪及电化学工作站等仪器研究了本底真空度对Ru薄膜化学成分、微观结构、膜基结合力及耐蚀性能的影响。结果表明,随着本底真空度的降低,Ru薄膜中氧含量逐渐降低,当本底真空度为6.0×10-4Pa时,薄膜中氧含量为0%(原子分数);当本底真空度为6.0×10-2Pa时,薄膜两相共存,即hcp-Ru+fcc-RuO_2,此时,薄膜中RuO_2的相对质量分数约为13.7%;随着本底真空度的降低,薄膜中fcc-RuO_2相对质量分数逐渐减少,当本底真空度为6.0×10-4Pa时,薄膜中fcc-RuO_2相消失,为hcp-Ru单一相结构;受RuO_2相的影响,薄膜晶粒尺寸及膜基结合力随本底真空度的降低而逐渐增加。研究表明,在3.5%Na Cl溶液,本底真空度为6.0×10-4Pa的Ru薄膜耐蚀性能优于Mo衬底。(本文来源于《材料开发与应用》期刊2016年04期）
薛雅平,鞠洪博,陈敏,郭丽萍,喻利花[7]（2016）在《退火温度对磁控溅射Ru薄膜结构及膜基结合力的影响》一文中研究指出采用磁控溅射法在Mo衬底上制备了Ru薄膜,利用真空退火炉、EDS、XRD,台阶仪及纳米划痕仪等设备研究了不同退火温度对Ru薄膜化学成分、相结构、残余应力及膜基结合力的影响。结果表明,不同退火温度处理下的Ru薄膜呈六方Ru结构,具有(002)择优取向,当退火温度为600℃时,薄膜出现氧化相。退火处理能够改善薄膜结晶程度。随退火温度的升高,薄膜残余应力逐渐降低,膜基结合力先升高后降低,当退火温度为300℃时,膜基结合力最高,约为17.6 N。(本文来源于《金属热处理》期刊2016年06期）
马璇,李刘合,刘红涛,许亿,马全胜[8]（2016）在《溅射工艺参数对TiAlSiN涂层硬度及膜基结合力的影响》一文中研究指出近年来超硬涂层的出现,为高速切削、干式切削的高质量刀具的发展,提供了契机。本文开展了磁控溅射法制备TiAlSiN涂层的工艺研究,在不同工艺下,获得了厚度2.0~4.0μm的TiAlSiN涂层,运用纳米压入硬度测试仪、划痕仪和洛氏硬度计等对涂层性能进行表征,研究了制备工艺参数对涂层硬度、膜基结合力的影响规律。结果表明:随着氮氩比、沉积温度和基体负偏压的增大,纳米硬度和弹性模量都是先升高后降低。靶基距为8 cm、温度为100℃、氮氩比为1/3、靶电流为1.5 A、基体负偏压为-100 V时涂层的平均纳米硬度超过40 GPa,达到了超硬水平;涂层与高速钢基体的膜基结合力随着靶基距的加大而降低,随着磁控电流的增大而增大;在沉积温度和基体负偏压由低到高变化时,涂层结合力变化趋势一致,都是先升高后降低。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2016年02期）
景浩,张钧,赵时璐,戴步实[9]（2015）在《硬质涂层膜/基结合力的测定方法与改善途径》一文中研究指出硬质涂层的性能主要包括硬度、结合力、耐磨性、热稳定性以及抗氧化性能,其中膜/基结合力是影响涂层使用性能的主要因素之一。阐述现有的结合力测定方法,分析这些检测方法的特点和适用性,针对不同涂层可采用不同的方法进行测量,进而得到更加准确合理的膜/基结合力描述;论述了膜/基结合力的主要影响因素,并提出了若干方法以改善膜/基结合力。(本文来源于《热加工工艺》期刊2015年24期）
卢龙,张会霞,刘崇林,严铿[10]（2015）在《40Cr钢表面离子镀TiAlN涂层的膜基结合力研究》一文中研究指出采用多弧离子镀的方法在齿轮材料40Cr钢基体表面上制备TiAlN涂层,分析了工艺参数对涂层与基体结合力的影响。结果表明,随着基体负偏压的增加,膜基结合力增强,当超过某一最大值时膜基结合力会逐渐下降。随着N_2分压的增加,膜基结合力逐渐增强。(本文来源于《铸造技术》期刊2015年12期）
膜基结合力论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
通过M2高速钢基体抛光预处理工艺,获得表面粗糙度和膜基结合强度良好的Cr N硬质涂层。采用正交法设计了不同压力、砂料、干湿方式等喷砂工艺参数进行高速钢基体预处理工艺研究。对预处理后的基体采用多弧离子镀技术沉积Cr N硬质涂层。通过扫描电镜、XRD、粗糙度仪和划痕测试仪等仪器检测分析了Cr N涂层的形貌、涂层物相结构、涂层粗糙度和涂层结合力等组织性能。喷砂压力较大和砂料硬度较高时,其涂层粗糙度较大,膜基结合强度较小。对采用玻璃珠砂料在2bar压力下进行干喷砂预处理后的基体进行涂层处理,其涂层综合性能最好,其膜基结合力为78N,涂层表面粗糙度为0.369μm,涂层厚度约为5μm,涂层厚度均匀,涂层表面比较平整致密,基本未见明显的孔洞结构。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
膜基结合力论文参考文献
[1].熊超.金刚石涂层刀具的膜基结合力改善途径与性能研究[D].华南理工大学.2018
[2].郑家乐,赵先锐,徐锋,曹振雨,李妮.基体预处理对CrN涂层刀具表面粗糙度和膜基结合力的影响[J].化学工程师.2018
[3].李柏松,王铁钢,侯翔,唐宽瑜.N_2/Ar流量比对HiPIMS技术制备AlCrSiN刀具涂层膜基结合力的影响[J].装备制造技术.2017
[4].曾舟,肖峰,苗景国,杜娟.基于划痕试验的超硬铝7A04微弧氧化膜基结合力的测试与评定[J].材料保护.2017
[5].许俊华,薛雅平,鞠洪博,贺盛,陈敏.负偏压对磁控溅射制备Ru薄膜微结构、膜基结合力及耐蚀性能的影响[J].江苏科技大学学报(自然科学版).2016
[6].鞠洪博,贺盛,陈彤,陈敏,郭丽萍.本底真空度对磁控溅射制备Ru薄膜微观结构、膜基结合力及耐蚀性能的影响[J].材料开发与应用.2016
[7].薛雅平,鞠洪博,陈敏,郭丽萍,喻利花.退火温度对磁控溅射Ru薄膜结构及膜基结合力的影响[J].金属热处理.2016
[8].马璇,李刘合,刘红涛,许亿,马全胜.溅射工艺参数对TiAlSiN涂层硬度及膜基结合力的影响[J].真空科学与技术学报.2016
[9].景浩,张钧,赵时璐,戴步实.硬质涂层膜/基结合力的测定方法与改善途径[J].热加工工艺.2015
[10].卢龙,张会霞,刘崇林,严铿.40Cr钢表面离子镀TiAlN涂层的膜基结合力研究[J].铸造技术.2015