论文摘要
论述了光刻胶级214-磺酰氯工艺路线的选择,生产方法、质量标准及分析方法,对具体工艺操作过程迚行了详细的说明,通过该工艺的操作实现了理想的收率结果,同时对214-磺酰氯在光刻胶中的作用、光刻胶的収展历史、使用原理以及在集成电路领域上的广泛应用,以及国内外光刻胶的科技动态和収展前景等迚行了详细阐述。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 王树立
关键词: 光刻胶,磺酰氯,生产方法,应用
来源: 辽宁化工 2019年08期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑,信息科技
专业: 一般化学工业,无线电电子学
单位: 本溪市重点产业发展服务中心
分类号: TQ57;TN405
DOI: 10.14029/j.cnki.issn1004-0935.2019.08.018
页码: 773-775+778
总页数: 4
文件大小: 624K
下载量: 151
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