硼及其协同掺杂金刚石块体的研究进展

硼及其协同掺杂金刚石块体的研究进展

论文摘要

掺入硼等杂质元素可以使金刚石获得半导体特性,利用高温高压法可以制备出性能优良的金刚石半导体材料。本文介绍了硼及其协同掺杂金刚石块体材料的研究现状,综述了掺杂对金刚石的形貌、结构及性能的影响,阐明了制备过程中影响掺杂金刚石质量的因素,展望了硼及其协同掺杂金刚石块体材料的应用前景。

论文目录

  • 1 硼及其协同掺杂金刚石的制备方法
  •   1.1 温度梯度法
  •   1.2 膜生长法
  • 2 硼掺杂金刚石单晶
  •   2.1 硼掺杂金刚石的微观特征
  •   2.2 硼掺杂金刚石的性能
  • 3 协同掺杂金刚石单晶
  •   3.1 协同掺杂金刚石的微观特征
  •   3.2 协同掺杂金刚石的性能
  • 4 硼及其协同掺杂金刚石块体材料的应用
  • 5 金刚石块体的影响因素
  •   5.1 触媒的种类及比例
  •   5.2 温度和压力的确定
  •   5.3 传压介质的选择
  •   5.4 热处理
  • 6 结语
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 王志伟,邹芹,李艳国,尹育航,陈红光,王明智

    关键词: 高温高压,金刚石块体,硼及其协同掺杂,半导体

    来源: 金刚石与磨料磨具工程 2019年06期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

    专业: 无机化工

    单位: 燕山大学机械工程学院,燕山大学亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室,广东奔朗新材料股份有限公司,中南钻石有限公司

    分类号: TQ163

    DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.6.0017

    页码: 99-106

    总页数: 8

    文件大小: 937K

    下载量: 64

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