论文摘要
合理的退火工艺可有效改善薄膜铂电阻的热阻参数。为了探究退火工艺对于薄膜铂电阻热阻特性的影响,探究了陶瓷基底上由磁控溅射工艺制备出的宽度为60μm,高度为300 nm的铂热电阻,在经过不同的退火工艺处理后,其灵敏度、线性度的变化规律。结果表明:在500～600℃之间,退火温度越高,灵敏度越大,线性度越好;当退火温度大于500℃,保温时间的延长会使灵敏度降低,线性度变差;基底粗糙度的增大更易于获得灵敏度大的铂薄膜。所探究出的退火工艺可有效改善薄膜型铂电阻传感器的热阻特性,具有很好的参考价值。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 王金鹏,周晨飞,梁军生,王大志,任同群
关键词: 薄膜铂热电阻,退火工艺,内部应力,灵敏度,线性度
来源: 机电工程技术 2019年08期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 金属学及金属工艺,仪器仪表工业
单位: 大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,大连理工大学精密与特种加工技术教育部重点实验室
基金: 国家自然科学基金资助项目(编号:51675085,51475081)
分类号: TH811;TG156.2
页码: 26-28
总页数: 3
文件大小: 4528K
下载量: 100
相关论文文献
- [1].退火工艺对扭力梁横梁材料和性能的影响[J]. 传动技术 2020(01)
- [2].快速热电偶用铂铑细丝退火工艺的研究[J]. 工业计量 2009(S2)
- [3].冷轧Q235钢带的退火工艺[J]. 金属热处理 2019(11)
- [4].岩滩水电站1号机转轮整体退火工艺优化应用[J]. 红水河 2013(03)
- [5].球墨铸铁压板退火工艺的改进措施[J]. 大众科技 2009(08)
- [6].触指退火工艺试验研究[J]. 金属加工(热加工) 2020(07)
- [7].不锈钢锻材C退火工艺与退火开裂相关性研究[J]. 山西冶金 2019(04)
- [8].台车电阻炉在棒材退火工艺中的“在线”应用[J]. 工业加热 2017(01)
- [9].球墨铸铁管退火工艺的改进[J]. 河北冶金 2011(04)
- [10].冶金低碳钢质量的退火工艺分析[J]. 科技信息 2011(20)
- [11].1Cr12Ni3Mo2VN退火工艺研究[J]. 特钢技术 2011(01)
- [12].42CrMo钢退火工艺的优化研究[J]. 金属世界 2016(03)
- [13].低碳冷轧薄板罩式退火工艺优化及性能分析[J]. 轧钢 2018(03)
- [14].退火工艺对冷轧低合金性能和组织的影响[J]. 世界有色金属 2017(08)
- [15].304不锈钢冷轧及退火工艺优化的实验研究[J]. 热加工工艺 2010(08)
- [16].退火工艺对热镀锌用冷轧低碳高强钢组织和性能的影响[J]. 金属热处理 2019(06)
- [17].退火工艺对锻态铁基合金组织性能的影响[J]. 内蒙古科技与经济 2012(01)
- [18].钻铤用钢退火工艺研究[J]. 热加工工艺 2012(12)
- [19].退火工艺对铍青铜组织性能的影响[J]. 热加工工艺 2012(12)
- [20].退火工艺对无取向硅钢磁性能的影响[J]. 江西冶金 2012(05)
- [21].退火工艺对5A06挤压型材组织及性能的影响[J]. 热处理技术与装备 2020(01)
- [22].汽车用冷轧5183铝合金板材退火工艺研究[J]. 热加工工艺 2018(20)
- [23].电磁纯铁在箱式电阻炉中的退火工艺[J]. 热加工工艺 2010(10)
- [24].集滤器管破损分析及工艺改进[J]. 金属加工(热加工) 2020(06)
- [25].轻型管状扭转梁的材料及退火工艺研究[J]. 精密成形工程 2019(02)
- [26].退火工艺对普通取向硅钢初次再结晶组织的影响[J]. 钢铁研究 2014(04)
- [27].柔性化退火工艺制备高强冷轧薄带实验研究[J]. 锻压技术 2009(04)
- [28].镀锡板退火工艺的研究进展[J]. 金属热处理 2012(05)
- [29].连续退火工艺对冷轧热镀锌双相钢780DP性能的影响[J]. 宝钢技术 2012(04)
- [30].退火工艺对深冷轧制6061铝合金显微组织及力学性能的影响[J]. 材料热处理学报 2020(05)