论文摘要
为满足对高能激光系统中损伤光学元件修复及对后端光学系统进行分析的应用需求,针对高斯激光造成不同损伤程度的K9光学元件建立了损伤表面轮廓的数学表征方法。首先,开展了激光辐照效应实验,获取了不同损伤程度的K9光学元件样品,并通过Zygo白光干涉仪获取样品表面3维形貌原始数据;其次,利用高斯滤波算法对表面轮廓进行提取,并构建合适的坐标系;最后,利用Sinc函数构建了一组正交轮廓曲线。结果表明,3种不同损伤程度K9玻璃的1维轮廓均可用类Sinc函数描述,表征结果与实际滤波后轮廓曲线之间的拟合偏差为0.5～7μm。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 师宇斌,张检民,林新伟,李云鹏,窦鹏程,张震,徐作冬
关键词: 激光损伤,光学元件,函数,表面轮廓表征
来源: 现代应用物理 2019年02期
年度: 2019
分类: 基础科学,信息科技
专业: 物理学,无线电电子学
单位: 西北核技术研究院,激光与物质相互作用国家重点实验室
基金: 激光与物质相互作用国家重点实验室重点资助项目(SKILL1601)
分类号: TN249
页码: 23-28
总页数: 6
文件大小: 2357K
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