论文摘要
利用原子层沉积方法制备V2O5纳米片晶薄膜.薄膜厚度可以被精确控制,并对纳米晶V2O5薄膜的结构形貌、光学带隙和拉曼振动有显著影响.原子层沉积过程中V2O5薄膜生长的两个阶段导致薄膜具有两个光学带隙,这将有助于理解超薄薄膜生长与功能应用.
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 张天宁,王书霞,黄田田,魏威,陈鑫,戴宁
关键词: 原子层沉积,五氧化二钒,薄膜
来源: 红外与毫米波学报 2019年01期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备
单位: 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,中国科学院大学
基金: Supported by the National Key R&D Program of China(2016YFA0202200),Youth Innovation Promotion Association,CAS
分类号: TQ135.11;TB383.2
页码: 3-7
总页数: 5
文件大小: 2432K
下载量: 101
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