论文摘要
从晶粒组织分布、织构组份分布、杂质含量分布三个方面对工业生产中溅射镀膜铌靶材表面纹路产生原因进行分析。结果表明,原材料的化学成分分布不均和杂质富集,经过后期的轧制加工,形成铌靶材表面规律性纹路;消除原材料成分分布不均和杂质富集,可避免铌靶材表面规律性纹路的形成。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 李兆博,马小文,黄浩,杜领会,汪凯,李兴钰
关键词: 溅射镀膜铌靶材,表面纹路,原因分析
来源: 材料开发与应用 2019年01期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 金属学及金属工艺,机械工业
单位: 宁夏东方钽业股份有限公司,西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司稀有金属特种材料国家重点实验室,国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
分类号: TG146.416
DOI: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2019.01.003
页码: 11-15
总页数: 5
文件大小: 2818K
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