论文摘要
从测试程序的建立、测试元素的稳定性和测试时间的选择等方面研究了X射线荧光光谱仪对厚度为几十及数百纳米金属镀层样品的测试精度,发现设置样品的程序时必须要考虑基材的成分;测试元素的稳定性可采用系统补正的方法调试;测试时间的选择必须考虑重现性和偏差。通过实验测量证实Ni/Pd/Au/Ag镀层样品的最佳测试时间是120s,而Ni/Pd/Au镀层样品的最佳测试时间为100s。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 李玉,黄彩清,吴凌
关键词: 射线荧光光谱,金属镀层厚度,基材,稳定性
来源: 分析仪器 2019年05期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 化学,材料科学
单位: 深圳赛意法微电子有限公司
分类号: TB306;O657.34
页码: 28-32
总页数: 5
文件大小: 284K
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