论文摘要
本文提出了一种用加热金属铂丝作为敏感单元的MEMS矢量水听器设计原理,该水听器主要用于测量声场质点振速信号。针对水听器灵敏度等性能优化难点问题,探讨其声-热-电多物理场能量转换机理,仿真计算不同金属铂丝间距等对水听器灵敏度的影响参数,优化敏感单元参数设计,提升MEMS矢量水听器接收性能。
论文目录
文章来源
类型: 国内会议
作者: 周瑜,涂其捷,朱晓枭,刘云飞
关键词: 矢量水听器,质点振速,金属铂丝
来源: 中国声学学会水声学分会2019年学术会议 2019-05-25
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑
专业: 物理学,工业通用技术及设备
单位: 中国电子科技集团公司第三研究所哈尔滨工程大学水声工程学院
分类号: TB565.1
页码: 571-573
总页数: 3
文件大小: 461k
下载量: 25
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