论文摘要
根据系统需求以及半导体制冷器的原理,对TCU半导体制冷器模块进行了分析设计计算。TCU半导体制冷器一般精度系列的温控精度在±0.05~±0.2℃之间,主要用来对电机循环水进行温度控制;高精度系列的温控精度为±0.01℃,主要用来对物镜循环水进行温度控制。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 狄后均
关键词: 制冷,半导体,热端散热器,冷端散热器
来源: 机电信息 2019年15期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑
专业: 工业通用技术及设备
单位: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
分类号: TB65
DOI: 10.19514/j.cnki.cn32-1628/tm.2019.15.070
页码: 140-141+145
总页数: 3
文件大小: 772K
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