论文摘要
烷类特种气体为集成电路生产中重要的原材料,提高其气体分析结果的可靠性对提高原料气的纯度,促进电子工业事业的发展具有重要的意义。多维气相色谱装置已成为层析法中一个很重要的独立分支,本文主要探讨了多维气相色谱法在烷类特种气体分析中装置设计要点及应用价值。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 张春港
关键词: 气体分析,烷类特种气体,多维气相色谱法,装置设计
来源: 中国石油和化工标准与质量 2019年17期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 化学,无机化工,有机化工
单位: 宁波驰诺国际货运有限公司
分类号: O657.71;TQ056
页码: 179-180
总页数: 2
文件大小: 1785K
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