无氢气氛下铁对金刚石的刻蚀

无氢气氛下铁对金刚石的刻蚀

论文摘要

用铁粉在无流动氢气气氛下催化刻蚀金刚石。用扫描电子显微镜(SEM)、激光探针分析仪以及X射线衍射仪表征其表面形貌、刻蚀坑深度和刻蚀后金刚石的结构和成分,同时对金刚石的刻蚀行为进行分析。结果表明:在无氢气气氛下,铁粉通过其催化作用刻蚀金刚石晶体;刻蚀主要在金刚石的{111}、{100}面进行,且{100}面的刻蚀速率大于{111}面的,其刻蚀机制是通过铁–金刚石间形成Fe–C相实现的;且刻蚀受铁相含量影响,刻蚀后金刚石结构不变。

论文目录

  • 1 试验材料及条件
  • 2 试验结果与分析
  •   2.1 刻蚀后金刚石的表面形态
  •   2.2 金刚石表面的刻蚀程度
  • 3 结语
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 邵增明,苏彦宾,张存升,武瑞阁

    关键词: 金刚石刻蚀,各向异性

    来源: 金刚石与磨料磨具工程 2019年05期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

    专业: 无机化工

    单位: 河南省力量钻石股份有限公司

    分类号: TQ163

    DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.5.0003

    页码: 13-15

    总页数: 3

    文件大小: 653K

    下载量: 36

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