论文摘要
采用多靶共聚焦射频磁控溅射仪制备了Mo含量为46.0%的Ti-Mo-N薄膜,研究了不同环境温度对薄膜摩擦磨损性能的影响.结果表明,Ti-Mo-N薄膜平均摩擦系数（μ）及磨损率（W）受环境温度影响很大,根据其变化趋势,可将环境温度分为3个区间（A, B, C）,对应环境温度范围分别为25～200℃、200～300℃、300～600℃.随环境温度升高,区间A内μ逐渐升高,W略有降低;区间B内μ及W基本保持稳定;区间C内μ逐渐降低,W逐渐升高.分析认为磨痕中具有自润滑作用的氧化相的量是导致薄膜μ及W出现上述变化趋势的主要原因.
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 鞠洪博,汪然,喻利花,许俊华
关键词: 磁控溅射,薄膜,环境温度,氧化物量,摩擦磨损性能
来源: 江苏科技大学学报(自然科学版) 2019年05期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 金属学及金属工艺
单位: 江苏科技大学材料科学与工程学院
基金: 国家自然科学基金资助项目(518010181,51574131)
分类号: TG174.4
页码: 12-17
总页数: 6
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- [1].专利名称:一种Ti-Mo-N多元硬质薄膜[J]. 中国钼业 2014(03)