论文摘要
金属有机化学气相沉积能连续、快速的沉积高温超导带材YBa2Cu3O7-x（YBCO）超导层。但金属有机源的利用率与薄膜沉积速率以及沉积一致性难以兼顾,制备YBCO高温超导带材的成本居高不下。本文提出了一种新的窄流道式反应室以改进薄膜沉积的一致性。在200 mm长度腔体中沉积的280 nm厚的Y0.5Gd0.5Ba2Cu3O7-x薄膜Jc分布在3.2～3.5 MA/cm2（77 K,0 T）,面外、面内半高宽值分别在1.39°～1.49°和1.88°～2.13°,表面平整致密。YBCO薄膜良好的一致性表明该窄流道反应室对制备YBa2Cu3O7-x超导带材有好的实用性。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 苟继涛,赵睿鹏,徐一鲡,贺冠园,陈然,陶伯万
关键词: 窄流道,金属有机化学气相沉积,高温超导带材
来源: 真空科学与技术学报 2019年06期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,基础科学,工程科技Ⅰ辑
专业: 物理学,材料科学,电力工业
单位: 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
分类号: TM26
DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.06.03
页码: 466-471
总页数: 6
文件大小: 594K
下载量: 32
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标签：窄流道论文; 金属有机化学气相沉积论文; 高温超导带材论文;