导读:本文包含了磁过滤真空弧沉积论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:磁过滤阴极真空弧,太阳能高反射率薄膜材料,膜厚控制,反射率
磁过滤真空弧沉积论文文献综述
叶源[1]（2014）在《利用磁过滤阴极真空弧沉积技术制备太阳能高反射率薄膜材料》一文中研究指出作为当前备受瞩目的可再生新能源之一，太阳能的利用一直是世界范围内的研究热点。太阳能光热发电是一种主流的太阳能利用方式，但其效率受制于核心部件聚光系统。针对聚光系统的研究已进行了一百余年，目前制约其聚光效率进一步提高的关键因素之一就是聚光系统中反射镜镜面面形的精度控制。具有优异可成型性和高反射率的薄膜反射材料是解决这一问题的较好方法。磁过滤阴极真空弧沉积技术（FCVAD）是一种广泛应用于精密薄膜的薄膜制备方法，相比于其他薄膜制备方法具有成膜粒子均匀、沉积能量高等诸多优势，制备的薄膜具有薄膜质量高、附着力好的优点。本文创新性将FCVAD技术引入制备太阳能高反射率薄膜材料，分别在玻璃和聚酯薄膜（PET）基材上制备了纳米级别的铝薄膜，探讨了弧流、负压、占空比和沉积库仑数等FCVAD参数对反射率及膜厚的影响，利用紫外-可见-近红外分光光度计、扫描电镜、台阶仪、拉脱法附着力测试仪等多种表征手段对所制备反射材料的反射性能、表面形貌和结构、膜厚以及薄膜附着力进行了相应的研究。结果表明：以玻璃作为基材时，铝膜的厚度和反射性能主要受弧流、负压、占空比和沉积库仑数等FCVAD参数的影响。其中，铝膜厚度与沉积库仑数之间存在极好的线性正相关关系，与弧流呈正相关关系，与负压和占空比则呈负相关关系。这些参数对于铝膜厚度的影响主要通过影响成膜粒子大小、空间结构致密性和表面排列实现。铝膜反射率与沉积库仑数之间的关系符合软件模拟结果。在一定范围内反射率随负压的增大迅速增大，负压到达一定值后保持稳定，继续增大则再次下降。弧流对于反射率的影响并不显着，在弧流较小范围内反射率随弧流的增大反射率大幅增大，但随后基本保持稳定。反射率随占空比的增大呈振荡下降的趋势。以上参数对于铝膜反射率的影响主要通过对成膜颗粒平均粒径、薄膜空间结构致密性、薄膜表面均匀性和缺陷情况以及薄膜有效光学厚度、光学常数的影响来实现。同时，此情况下制备的反射材料薄膜附着力完全满足实用要求。与磁控溅射技术相比，FCVAD制备反射薄膜在性能上具有显着优势。最后，对PET进行了离子注入+离子束混合表面预处理之后再采用FCVAD技术进行铝膜的沉积，探索了以聚合物为基底的柔性太阳能高反射率薄膜材料的制备，研究了表面预处理对该反射材料反射性能和薄膜附着力的影响。(本文来源于《华南理工大学》期刊2014-05-20）
刘敏,解宇,孔凡让[2]（2012）在《磁过滤真空阴极弧沉积技术制备及在刀具上的实验》一文中研究指出研究了一种阴极弧沉积方法。将高端刀具放置在等电势的半球状栅网中进行钛氮化物沉积,在200V的负偏压下,完全避免了电弧的产生,X射线光电能谱(XPS)的结果表明在室温下成功地在刀具材料上沉积了钛氮化物薄膜。(本文来源于《制造技术与机床》期刊2012年12期）
祝土富,沈丽如,徐桂东[3]（2007）在《磁过滤直流真空阴极弧沉积类金刚石膜的结构和力学性能研究》一文中研究指出采用磁过滤直流真空阴极弧沉积技术在不锈钢基体上制备了类金刚石(DLC)膜。利用光学显微镜、台阶仪、X射线光电子能谱、Raman光谱、显微硬度计、摩擦磨损仪、洛氏硬度计检测了薄膜的表面形貌、厚度、结构和相关力学特征。结果表明,膜中仍然存在着um级的大颗粒分布,膜厚为290nm,sp3键含量较高,在空气中的摩擦系数约为0.25,耐磨性能优良,膜与基体的结合性能良好。(本文来源于《第十叁届全国等离子体科学技术会议论文集》期刊2007-08-20）
丁剑飞,吴先映,李强,周奎,王桂岳[4]（2007）在《磁过滤阴极真空弧沉积法制备TiAlN薄膜的研究》一文中研究指出采用磁过滤阴极真空弧沉积技术在不同的真空室压强(N2流量)状态下制备TiAlN薄膜,讨论了N2流量对TiAlN薄膜各项性能的影响。并对薄膜的成分、结构和性能进行了测试。测试结果表明:获得薄膜较好,真空室压强对薄膜的厚度、摩擦系数和纳米硬度都有着重要的影响。(本文来源于《真空》期刊2007年04期）
王广甫,张荟星[5]（2003）在《磁过滤阴极真空弧沉积装置研究中的等效电路方法》一文中研究指出提出了模拟磁过滤阴极真空弧放电等离子体沉积装置阴极弧放电过程的等效电路 ,并用此电路定性研究了各参数对弧放电的影响 ,结果同实验符合的很好(本文来源于《真空科学与技术》期刊2003年01期）
王广甫,张荟星[6]（2001）在《磁过滤真空弧沉积中过滤管道的第二阳极作用研究》一文中研究指出利用一台磁过滤真空弧沉积装置 ,初步研究了磁过滤管道对系统弧放电的影响。实验证明 ,磁过滤管道在阴极真空弧沉积中不仅起到消除大颗粒的作用 ,还作为阴极真空弧放电的第二阳极对弧放电产生影响。给出了磁过滤阴极真空弧放电的等效电路 ,并用此电路对磁过滤阴极真空弧放电中的部分实验现象进行了解释(本文来源于《核技术》期刊2001年10期）
吴瑜光,张通和,张荟星,张孝吉,王广甫[7]（2001）在《磁过滤阴极真空弧沉积薄膜研究》一文中研究指出采用磁过滤阴极真空孤沉积技术对从弧源引出离子束中的大颗粒进行过滤后 ,在硅和聚合物表面进行离子注入和低能离子束沉积 ,可获得特性优异的沉积金属膜、超硬膜 (类金刚石 ,CN膜 )、陶瓷膜 (TiN ,TiC)等。电子显微镜观察表明 ,大颗粒已被过滤 ,表面结构致密。由于先进行离子注入 ,在基体表面预先形成了过渡层 ,从而改善了沉积膜的粘合特性 ,膜与基体的粘合特性有了明显提高。测量结果表明 ,沉积膜的硬度、抗磨损和抗腐蚀特性均有了明显提高。非晶金刚石薄膜表面硬度可达到5 6GPa(本文来源于《微细加工技术》期刊2001年01期）
王广甫,张荟星,张孝吉[8]（2000）在《过滤管道作为第二阳极的磁过滤阴极真空弧沉积系统》一文中研究指出建立了一台磁过滤脉冲阴极真空弧沉积装置 .通过在 90°磁过滤管道和阴极之间加一30～ 60V的正偏压使系统沉积速率得到了大幅度提高 .研究和观察表明 ,此时在过滤管道和阴极之间产生了阴极真空弧放电 ,并因此使阴极消耗率大幅度增大 .对此放电回路及其和MEVVA阳极 阴极之间弧放电的相互影响进行了初步的实验研究(本文来源于《北京师范大学学报(自然科学版)》期刊2000年06期）
俞柳江[9]（2000）在《真空磁过滤弧沉积非晶金刚石薄膜及其在生物医学材料领域中的应用研究》一文中研究指出本论文在国内第一台真空磁过滤弧沉积（Filtered arc deposition，FAD）系统的基础上，以制备优质非晶金刚石薄膜为目标，对设备进行了优化改造。添加了射频电源，以便在绝缘基体上沉积薄膜；添加了液氮冷却系统，能够在77K左右的低温下进行薄膜制备；添加了无灯丝的辅助离子源，能进行离子辅助沉积，以及对薄膜进行掺杂，特别是因为离子源为无灯丝离子源，因而可进行氧掺杂。 利用FAD系统在室温条件下制备了致密的无氢非晶金刚石薄膜。对非晶金刚石薄膜的防水汽透过特性进行了探索研究。加速实验结果表明，非晶金刚石薄膜具有良好的防水性能，其水汽透过率小于文献中报道的经常用于电子器件封装无机水汽阻挡层的氮化硅薄膜。本工作因此而获得了国家“ 863”高技术计划资助，以进行更深入的研究，希望能在将来应用于有机发光器件（Organic Light-Eiode,OLED）的封装。 对非晶金刚石薄膜的血液相容性进行了系统的研究。通过溶血率实验，发现非晶金刚石薄膜对血液几乎没有破坏作用，符合生物材料溶血实验要求；通过蛋白质竞争吸附实验，发现非晶金刚石薄膜表现出一定的择优吸附白蛋白的特性，与临床上应用于人工心脏瓣膜的热解碳相比，非晶金刚石薄膜表面吸附更多的白蛋白和更少的纤维蛋白原，有更好的蛋白质吸附性能，从建立的简单模型分析发现模型与实验结果相一致，通过血小板吸附实验，发现各种条件下制备的非晶金刚石薄膜吸附血小板的数量均少于热解碳，血小板团聚、变形情况也明显小于热解碳，说明非晶金刚石薄膜的抗凝血性能优于热解碳，通过对非晶金刚石薄膜表面能的测试，结果表明，非晶金刚石薄膜与两种蛋白质之间界面力之间的比值基本上与热解碳相同，说明表面能不是非晶金刚石薄膜表现出优异的血液相容性的主要因素；我们认为，主要因素是非晶金刚石薄膜的负电性和低表面功函数，使得吸附在非晶金刚石薄膜表面的纤维蛋白原中的电子很难向薄膜中转移，从而纤 IV 4一 ＼ — — 摘 艺D维蛋白原很难发生变性，因而非晶金刚石薄膜表现出良好的血液相容性。(本文来源于《中国科学院上海冶金研究所》期刊2000-07-01）
陈智颖,俞跃辉,赵建平,王曦,周祖尧[10]（1997）在《真空磁过滤弧沉积碳氮薄膜的研究》一文中研究指出本文采用真空磁过滤弧沉积技术，在Ｓｉ（１１１）、石英及Ｔｉ／Ｃ衬底上制备得到非晶碳氮（ＣＮｘ）薄膜。采用卢瑟福背散射分析对薄膜的面密度及Ｎ含量进行定量计算。用紫外－可见透射光谱与红外反射光谱研究了薄膜的光学性能。结果表明：随着薄膜中氮含量的增加，碳氮薄膜的光学禁带宽度减小，红外反射率增加。另外，就不同氮气分压对薄膜结构的影响进行了研究。(本文来源于《功能材料与器件学报》期刊1997年01期）
磁过滤真空弧沉积论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
研究了一种阴极弧沉积方法。将高端刀具放置在等电势的半球状栅网中进行钛氮化物沉积,在200V的负偏压下,完全避免了电弧的产生,X射线光电能谱(XPS)的结果表明在室温下成功地在刀具材料上沉积了钛氮化物薄膜。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
磁过滤真空弧沉积论文参考文献
[1].叶源.利用磁过滤阴极真空弧沉积技术制备太阳能高反射率薄膜材料[D].华南理工大学.2014
[2].刘敏,解宇,孔凡让.磁过滤真空阴极弧沉积技术制备及在刀具上的实验[J].制造技术与机床.2012
[3].祝土富,沈丽如,徐桂东.磁过滤直流真空阴极弧沉积类金刚石膜的结构和力学性能研究[C].第十叁届全国等离子体科学技术会议论文集.2007
[4].丁剑飞,吴先映,李强,周奎,王桂岳.磁过滤阴极真空弧沉积法制备TiAlN薄膜的研究[J].真空.2007
[5].王广甫,张荟星.磁过滤阴极真空弧沉积装置研究中的等效电路方法[J].真空科学与技术.2003
[6].王广甫,张荟星.磁过滤真空弧沉积中过滤管道的第二阳极作用研究[J].核技术.2001
[7].吴瑜光,张通和,张荟星,张孝吉,王广甫.磁过滤阴极真空弧沉积薄膜研究[J].微细加工技术.2001
[8].王广甫,张荟星,张孝吉.过滤管道作为第二阳极的磁过滤阴极真空弧沉积系统[J].北京师范大学学报(自然科学版).2000
[9].俞柳江.真空磁过滤弧沉积非晶金刚石薄膜及其在生物医学材料领域中的应用研究[D].中国科学院上海冶金研究所.2000
[10].陈智颖,俞跃辉,赵建平,王曦,周祖尧.真空磁过滤弧沉积碳氮薄膜的研究[J].功能材料与器件学报.1997
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