论文摘要
介绍了化学气相沉积法(CVD)制备ZnS过程中,CVD工艺对材料相关力学性能的影响和控制方法。通过X射线衍射分析、扫描电镜和金相显微镜等手段研究了不同工艺下制备的ZnS样品材料的内部结构和缺陷,提出了ZnS生长过程中晶粒尺寸和材料缺陷的控制方法。研究结果表明,设计合理的喷嘴结构,营造稳定的CVD生长环境,提高CVD ZnS毛坯一致性,抑制材料缺陷形成,有助于提升ZnS材料力学相关性能。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 李冬旭,魏乃光,蒋立朋,黎建明,杨海,张鹏飞,牛延星,田智瑞,郭立,杨建纯,刘晓华
关键词: 化学气相沉积法,晶粒尺寸,喷射结构,力学性能
来源: 人工晶体学报 2019年08期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 有研科技集团有研国晶辉新材料有限公司
基金: 军工资助项目
分类号: TQ132.41
DOI: 10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2019.08.009
页码: 1430-1437
总页数: 8
文件大小: 3029K
下载量: 141
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