论文摘要
针对硅微谐振加速度计在进行结构设计时,如何根据模态特性选取工作模态这一问题,比较分析了加速度计工作在两种不同振动模态下的性能参数。首先采用刚度法分析了谐振器的振动特性,得出能够反映谐振器振动状态的两种模态即同相振动模态和反相振动模态,结合理论推导和仿真结果得出两种振动模态下谐振频率差值与标度因数差值呈线性关系;其次通过分析两种振动模态下的能量分布情况,得出两种振动模态下谐振器的品质因数与振梁振动幅值之间的关系,同相模态振动一个周期所消耗能量约为反相模态所消耗能量的2倍;最后通过评估硅微谐振加速度计的噪声,阐明了两种振动模态下部分噪声分量不同的原因并进行了实验验证。实验结果表明,在相同驱动电压下,同相模态相比反相模态总体噪声增大25.7%。该研究为设计硅微谐振式加速度计时,确定谐振器的振动模态及驱动方案提供了参考依据。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 张秀丽,何晓飞,尹永刚,方政翔,韩丰田
关键词: 硅微谐振加速度计,模态分析,同相模态,反相模态
来源: 中国惯性技术学报 2019年05期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑
专业: 仪器仪表工业
单位: 北京交通大学机械与电子控制工程学院,清华大学精密仪器系
基金: 国家自然科学基金资助项目（41774189)
分类号: TH824.4
DOI: 10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2019.05.019
页码: 690-694+700
总页数: 6
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标签：硅微谐振加速度计论文; 模态分析论文; 同相模态论文; 反相模态论文;