论文摘要
在TiO2薄膜基底上制作多碱光电阴极,发现多碱光电阴极制作工艺无法正常进行,多碱光电阴极的颜色为暗黑色,并且阴极灵敏度非常低,而正常的多碱光电阴极应为红褐色。其中TiO2薄膜基底利用原子层沉积（ALD）工艺制备在玻璃窗上,并且具有锐钛矿晶体结构。X射线衍射仪（XRD）分析发现,制作多碱阴极后的TiO2薄膜样品锐钛矿衍射峰基本消失,另外X射线光电子能谱（XPS）分析发现该TiO2薄膜样品不同深度均存在Na元素,由此表明是Na元素渗透到TiO2薄膜中,破坏了薄膜的晶体结构,并且导致多碱光电阴极灵敏度非常低。为此提出了一种在制作多碱光电阴极之前,在TiO2薄膜上利用ALD工艺制作一层Al2O3钝化膜的方法。经过实验验证,证实该方法可以有效避免Na元素渗透到TiO2薄膜,同时多碱光电阴极制作过程可正常进行,多碱光电阴极的颜色为红褐色,阴极灵敏度超过800mA/lm。这为将来深入研究采用TiO2薄膜作为多碱光电阴极的减反膜打下了基础。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 赵伟林,赵恒,曾进能,赵学峰,常乐,李廷涛,李晓峰
关键词: 多碱阴极,减反膜,原子层沉积,元素渗透,钝化膜
来源: 红外技术 2019年10期
年度: 2019
分类: 信息科技,基础科学
专业: 物理学
单位: 北方夜视技术股份有限公司,微光夜视技术重点实验室
基金: 国家自然科学基金(11535014)
分类号: O462.3
页码: 895-901
总页数: 7
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