论文摘要
脉冲调制射频具有调制频率、占空比、输入功率等多种可调参数,可以较大范围地调节放电等离子体参数,因此其放电特性与传统交流或直流放电相比具有独特的特点。该文研究在大气压条件下13.56MHz射频电源系统激励的CO2/Ar气体放电光学特性,主要考察了不同调制参数以及气体组分对等离子体羽流、发射光谱强度以及电子激发温度的影响。研究结果表明,改变射频调制参数可以明显调控上述光学特性:增加输入功率、占空比,或者降低调制频率和CO2含量,可以增大等离子体羽流长度和电子激发温度;其光谱主要包含OH（A→X）、 N2（C→B）、 Ar（4p→4s）、 O（3p→3s）、C（1p-1s）、C2 swan谱带等,且均随着输入功率的增加和CO2含量的降低而明显增强。所做研究为射频放电等离子体技术提升CO2资源化利用效率提供更多的选择。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 张凯,张帅,高远,孙昊,严萍,邵涛
关键词: 大气压射频放电,调制频率,占空比,光谱强度,电子激发温度
来源: 中国电机工程学报 2019年11期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,基础科学
专业: 物理学
单位: 电力电子与电气驱动重点实验室(中国科学院电工研究所),中国科学院大学
基金: 国家自然科学基金(重点项目)(51637010),国家自然科学基金(青年科学基金项目)(51707186),中国科学院洁净能源创新研究院合作基金项目(DNL180204)~~
分类号: O53
DOI: 10.13334/j.0258-8013.pcsee.182369
页码: 3280-3288
总页数: 9
文件大小: 1299K
下载量: 113
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