论文摘要
类金刚石（DLC）薄膜具有优异的力学性能和摩擦学性能,但薄膜内部有很高的残余应力,与基体结合强度较低,这大大的限制了DLC薄膜的厚度与应用范围。通过金属掺杂可有效调控DLC薄膜的力学、摩擦学、生物学等方面的性能。根据金属元素在非晶碳基质中的存在形式,将金属掺杂类金刚石薄膜（Me-DLC）分为两类:弱碳金属掺杂类金刚石薄膜（如Al-DLC和Ag-DLC）和亲碳金属掺杂类金刚石薄膜（如Ti-DLC和Cr-DLC）。根据目前已有的研究,对这两类Me-DLC的结构和性能进行了归纳及分析。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 彭雅利,郭朝乾,林松盛,石倩,韦春贝,李洪,苏一凡,代明江
关键词: 类金刚石薄膜,金属掺杂,内应力,摩擦学,综述
来源: 电镀与涂饰 2019年15期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 材料科学,工业通用技术及设备
单位: 中南大学材料科学与工程学院,广东省新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室广东省现代表面工程技术重点实验室
基金: 广东省科学院人才资助专项（2018GDASCX-0948）,广东省科学院科技提升项目（2017GDASCX-0111,2018GDASCX-0111）,广东省自然科学基金项目（2018A030313660）,广州市科技计划项目（201904010261,201804010165）,广东省科技计划项目（2017A070701027,2014B0707050007）
分类号: TB383.2
DOI: 10.19289/j.1004-227x.2019.15.013
页码: 826-832
总页数: 7
文件大小: 2590K
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