八氟环丁烷的纯化技术研究进展

论文摘要

随着电子工业的迅速发展,八氟环丁烷作为常用的半导体工艺蚀刻或清洗气体,其需求量日益增加,对其纯度要求也越来越苛刻。总结了现有应用最为广泛的四种八氟环丁烷纯化技术:精馏技术、吸附技术、化学转化法、膜分离技术,分析四种纯化技术各自优缺点。在实际生产中,根据八氟环丁烷中所含杂质的种类,选择合适纯化技术联用来获得高纯八氟环丁烷。此外,应不断开发新型、高效电子气体纯化技术,促进我国电子气体行业的发展。

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类型: 期刊论文

作者: 缪光武,张金柯,白占旗,何双材,胡欣,曾群,杜肖宾,刘武灿,张波

关键词: 八氟环丁烷,纯化技术,电子气体

来源: 低温与特气 2019年01期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 有机化工

单位: 浙江省化工研究院有限公司

分类号: TQ232

页码: 1-5

总页数: 5

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标签：八氟环丁烷论文;  纯化技术论文;  电子气体论文;