高纯锗探测器表面粗糙度测试

高纯锗探测器表面粗糙度测试

论文摘要

<正>高纯锗探测器表面状况对探测器的性能影响较大,表面处理不当会使表面结构损伤,影响载流子寿命和界面态密度,表面粗糙度是表面状况的重要指标。表面粗糙度的主要指标为:表面轮廓的算术平均偏差R_a(图1),即在所取长度内被测实际表面轮廓上N个点到中线偏差Yi绝对值的

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 郝晓勇,阙子昂

来源: 中国原子能科学研究院年报 2019年00期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑

专业: 核科学技术

单位: 中国原子能科学研究院核技术应用研究所

分类号: TL81

页码: 153-154

总页数: 2

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