论文摘要
以电弧复合磁控溅射沉积工艺在Ti600合金基体上沉积得到Ti-Al-N涂层,通过控制公转速度的方式来获得不同涂层组分,实验研究涂层组分对涂层组织微观结构的影响。研究结果表明:随着公转速度的增加,涂层内Ti/Al比表现出减小的变化。在涂层表面上形成了许多尺寸较大的颗粒与一些凹坑结构,较小Ti/Al比试样形成了少量的表面大颗粒,并得到致密组织结构。退火态和沉积态涂层形成了相近的表面形貌。涂层厚度发生了先升高后降低,2#试样达到了最大的沉积速率。随着深度的增加,Al,O元素的含量表现出先增加后降低的变化规律,在涂层6μm之后Ti和N元素含量得到明显的增加。当涂层内Ti/Al比例减小后,形成的Ti2AlN特征峰发生了先增大后降低的变化现象。为了提高Ti2AlN涂层的纯度与结晶度,应选择2#试样的制备工艺。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 邹利华,李梦奇,吴海江,李冬英,周晓燕,宋恺心
关键词: 磁控溅射,涂层组分,涂层,微观结构
来源: 真空科学与技术学报 2019年12期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 金属学及金属工艺
单位: 邵阳学院机械与能源工程学院,邵阳学院高效动力系统智能制造湖南省重点实验室,邵阳学院信息工程学院
基金: 湖南省教育厅优秀青年项目(No.18B421),湖南省教育厅科研重点项目(No.18A384),高效动力系统智能制造湖南省重点实验室开放研究基金项目“动力系统关键部位高性能防护涂层制备及服役失效机理研究
分类号: TG174.4
DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.12.14
页码: 1130-1134
总页数: 5
文件大小: 1957K
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