导读:本文包含了化学反应沉积论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:反应路径,MOCVD,动力学
化学反应沉积论文文献综述
于海群[1]（2012）在《GaN沉积的化学反应动力学进展》一文中研究指出依据文献中的气相反应路径,特别是寄生反应模型和刻蚀反应模型,指出对于存在冷壁面的水平式,加合物的反应路径对沉积起重要作用。在加合物路径中,对薄膜生长起决定作用的是TMGa和TMGa∶NH3,而环状化合物[(CH3)2Ga∶NH2]3形成的可能性很小,可以忽略。对于垂直式反应器,所有的反应物粒子均经过高温边界层区域,遵循热解路径。在高温条件下,对薄膜生长起决定作用的是MMG。纳米粒子的形成需要高温条件,并且纳米粒子的生长遵循CVD机理,可认为气相纳米粒子的主要成分可能是GaN。在高温条件下H2对GaN的刻蚀作用不可忽视。(本文来源于《材料导报》期刊2012年17期）
王长林[2]（2008）在《二氧化硅薄膜沉积技术的主要化学反应与方法》一文中研究指出对二氧化硅薄膜沉积技术中的主要化学方法、化学气相沉积等进行讨论,综述不同温度条件下各种沉积的方法及其发生的主要化学反应。(本文来源于《包头职业技术学院学报》期刊2008年03期）
张谊华,滕玉美,陶玉,曾宪康,王明常[3]（1994）在《激光诱导还原化学反应沉积铜导线》一文中研究指出在流动的常温常压氢气氛中，用连续ＣＯ＿２激光诱导氧化亚铜薄膜还原反应，沉积成铜导线，所得铜线具有多孔结构，研究了基片性质，制膜工艺，激光强度和照射扫描速度对沉积铜线质量的影响(本文来源于《激光杂志》期刊1994年03期）
化学反应沉积论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
对二氧化硅薄膜沉积技术中的主要化学方法、化学气相沉积等进行讨论,综述不同温度条件下各种沉积的方法及其发生的主要化学反应。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
化学反应沉积论文参考文献
[1].于海群.GaN沉积的化学反应动力学进展[J].材料导报.2012
[2].王长林.二氧化硅薄膜沉积技术的主要化学反应与方法[J].包头职业技术学院学报.2008
[3].张谊华,滕玉美,陶玉,曾宪康,王明常.激光诱导还原化学反应沉积铜导线[J].激光杂志.1994