论文摘要
为探究超硬脆碳化硅（Si C）材料的高效研抛方法,分别应用铸铁抛光盘、聚氨酯抛光盘、半固结磨粒抛光盘在自来水、KOH溶液、芬顿反应液3种研抛液中通过控制变量法对Si C进行了超声-电化学机械研抛试验,得到以试件材料去除率和表面质量为评价指标的优化抛光工艺参数.试验结果表明:使用铸铁抛光盘时材料去除率高,但表面质量差;使用半固结磨粒抛光盘时表面质量最好,但材料去除率低;芬顿反应液对提高试件的材料去除率效果最好;在试件与抛光盘之间的电压为+10 V时,试件的材料去除率最高,比无电压时提高了55.1%;当试件保持环施加超声振动后,比无超声时材料去除率提高了91.7%,可见超声振动对Si C试件抛光起主要作用.
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 翟文杰,翟权
关键词: 碳化硅,超声,电场,机械抛光,材料去除率,表面粗糙度
来源: 哈尔滨工业大学学报 2019年01期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 哈尔滨工业大学机电工程学院
基金: 国家自然科学基金(51475119)
分类号: TQ163.4
页码: 16-21
总页数: 6
文件大小: 3492K
下载量: 251
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