退火温度对Cr掺杂ZnO薄膜的微结构与机械性能的影响研究

论文摘要

本研究利用射频磁控溅镀法在玻璃基板上制备3 at.%的Cr掺杂ZnO薄膜,再以300℃～500℃温度退火处理25 mins,并探讨了退火温度对Al掺杂ZnO薄膜的微观结构与机械性能的影响.微观结构分析结果表明Cr掺杂ZnO薄膜的结晶方向为(002),且沿(002)方向的成长随退火温度升高而越加明显,但薄膜的表面却随退火温度升高而变得越来越粗糙.机械性能分析结果揭示晶粒尺寸随退火温度升高而增大,导致差排原子的动能随之降低,致使Cr掺杂ZnO薄膜的硬度随退火温度升高而增大,但对其对杨氏模量却没有太大的影响;此外,Cr掺杂ZnO薄膜的耐磨性与韧性均随退火温度升高而增强,表明退火处理对该薄膜的抗塑性形变能力有很大帮助.

论文目录

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 马媛媛,方新

关键词: 氧化锌薄膜,铬掺杂,射频磁控溅镀,退火,微结构,机械性能

来源: 原子与分子物理学报 2019年01期

年度: 2019

分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 材料科学,工业通用技术及设备

单位: 青岛酒店管理职业技术学院酒店工程学院,齐鲁工业大学材料科学与工程学院

基金: 山东省青年基金(2016ZRB01ANP)

分类号: TB383.2

页码: 48-54

总页数: 7

文件大小: 2060K

下载量: 108

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