论文摘要
在研磨氧化镓晶片时,由于铜质研磨盘的导热系数和热膨胀率较大,因此研磨盘各个部位的热变形量也会因为温度的不同而不同。通常在加工前需要对研磨盘加工时的变形量进行预测,并对研磨盘表面进行平面补偿。选取了3组不同补偿角的研磨盘,基于ANSYS Workbench对它们分别进行瞬态热结构耦合分析。结果表明:当补偿角为0.003°时铜盘补偿效果最好。该方法为不同研磨工况下研磨盘补偿角的选定提供了参考。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 宋放,周海,韦嘉辉,吴宇航,孙亮
关键词: 研磨盘,氧化镓,热变形,热结构耦合
来源: 机械工程与自动化 2019年02期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 化学
单位: 安徽理工大学机械工程学院,盐城工学院机械优集学院
基金: 国家自然科学基金资助项目(51675457)
分类号: O786
页码: 1-4+7
总页数: 5
文件大小: 313K
下载量: 264
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