PEG/WCl6添加比例对WO3薄膜形貌及气敏特性的影响

论文摘要

以氯化钨（WCl6）、无水乙醇（C2H5OH）和二甲基甲酰胺（C3H7NO）为前驱体,以聚乙二醇（PEG-1000）为造孔剂,采用非水解溶胶-凝胶法制备WO3多孔薄膜,考察了PEG与WCl6添加比例对薄膜形貌结构和气敏特性的影响.结果表明,在PEG与WCl6添加比例为0. 5时可获得形貌均一、孔隙率高、比表面积大的WO3多孔薄膜.所获WO3薄膜具有单一的单斜晶系结构,主要由直径为20～60 nm的纳米颗粒所构成.气敏特性研究结果表明,WO3多孔薄膜呈现n型半导体特性,在最佳工作温度100℃时表现出对NO2良好的气敏性能; WO3薄膜的成膜机理表明,造孔剂PEG-1000引导无机材料形成高孔隙率和高比表面积的三维多孔薄膜结构,该多孔结构有望作为NO2气体的潜在气敏材料.

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 周鹏飞,赵思凯,王玮,沈岩柏

关键词: 非水解溶胶凝胶法,薄膜,气敏特性,成膜机理

来源: 东北大学学报(自然科学版) 2019年08期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑,信息科技

专业: 材料科学,工业通用技术及设备,无线电电子学,自动化技术

单位: 东北大学资源与土木工程学院

基金: 国家自然科学基金资助项目(51674067,51422402),中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(N150101001,N160106004,N170106005)

分类号: TP212;TB383.2;TN304

页码: 1166-1171

总页数: 6

文件大小: 1276K

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