论文摘要
根据国家标准(电子工业防微振工程技术规范)编制的原则,分析12英寸集成电路芯片厂房防微振设计中的若干问题。包括地质勘探、场地填方施工、防微振测试、多工况动力分析、隔振计算。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 洪明
关键词: 集成电路制造,英寸,芯片生产,微振动,建筑结构,防微振体系
来源: 电子技术 2019年01期
年度: 2019
分类: 信息科技
专业: 无线电电子学
单位: 上海电子工程设计研究院有限公司
基金: 上海市科技企业技术创新课题项目
分类号: TN405
页码: 78-81
总页数: 4
文件大小: 1024K
下载量: 31
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