InN量子点的液滴外延及物性表征

论文摘要

由于1. 55μm波段广泛应用于通信领域,为了探索不同生长温度对InN量子点的形貌影响,并且实现自组装InN量子点在1. 55μm通信波段的发光,对InN量子点的液滴外延及物性进行了相关研究。首先利用射频等离子体辅助分子束外延（PA-MBE）技术在GaN模板上,采用液滴外延方法在3种温度下生长了InN量子点结构。生长过程中靠反射高能电子衍射（RHEED）对样品进行原位监控。原子力显微镜（AFM）表征结果表明随着生长温度升高,量子点尺寸变大,密度减小。在生长温度350℃和400℃下,观测到了量子点;当温度高于450℃时,未观测到InN量子点。当生长温度为400℃时,量子点形貌最好,密度为6×108/cm2,对400℃下生长的InN量子点进行了变温PL测试,成功得到InN量子点在1. 55μm波段附近的光致发光,并且随着测试温度的升高,量子点的发光峰位发生了先红移后蓝移最后又红移的S型曲线变化,这种量子点有望在未来应用于量子通信领域。

论文目录

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 陈启明,晏长岭,曲轶

关键词: 氮化铟,量子点,分子束外延,液滴外延

来源: 发光学报 2019年02期

年度: 2019

分类: 基础科学,信息科技

专业: 物理学,无线电电子学

单位: 长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室,海南师范大学物理与电子工程学院

基金: 国家自然科学基金(U1330136,61376045),长春科学与技术计划项目(13KG30),吉林省科学技术厅项目(20160101254JC),长春理工大学项目(XJLG-2015-10)资助~~

分类号: O413;O471.1

页码: 171-176

总页数: 6

文件大小: 4633K

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