金属诱导结晶论文_董少光,庄君活,潘浩贤,曾亚光

导读:本文包含了金属诱导结晶论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:诱导,结晶,金属,成核,多晶,横向,密度。

金属诱导结晶论文文献综述

董少光,庄君活,潘浩贤,曾亚光^[1]（2017）在《基于金属诱导结晶生长多晶Ge薄膜的成核机理与动力学特征》一文中研究指出研究低温下利用金属Al对非晶Ge薄膜进行层交换结晶生长多晶Ge薄膜的动力学过程。实验观察到Ge原子从非晶Ge层穿过中间很薄的GeO_x界面层后,大量地迁移到金属Al层的表面,并对多晶Ge薄膜中Ge成核区域的面密度进行了测量,对GeO_x界面层进行偏置电压处理以控制Ge成核区域的面密度。根据实验观察的各种结果并运用JMAK的相迁移理论解释了Ge成核区域的二维生长过程以及成核机理。应用Ge成核区域的动力学方程得到Ge岛的成核率随时间呈指数衰减的变化趋势。随着生长时间的增加,Ge成核区域从恒定生长速率的线性生长方式转变为表面扩散限制生长方式。这两种生长机制的转折点取决于Ge岛成核的位置密度和退火温度。掌握低温下层交换结晶的生长动力学理论对生长大颗粒的多晶Ge薄膜是非常重要的。(本文来源于《佛山科学技术学院学报(自然科学版)》期刊2017年04期）

王光伟,张建民,倪晓昌,李莉^[2]（2009）在《非晶硅和非晶硅锗薄膜的金属诱导结晶》一文中研究指出分析了金属Ni、Al诱导非晶Si及非晶SiGe薄膜结晶的条件、特点和机理。简要介绍了金属诱导结晶相对于其它一些结晶工艺的优势及其在薄膜晶体管中的应用。概述了影响诱导结晶速率和薄膜微结构的诸多因素,如热处理条件和外加电场等。对电场增强金属诱导横向结晶的相关问题进行了探讨,指出适当强度的电场可显着加快横向诱导结晶的速率,但更强电场则会降低该速率,基于电迁移效应对该现象进行了解释。(本文来源于《液晶与显示》期刊2009年03期）

张文砚^[3]（2009）在《金属诱导结晶硅及其应用》一文中研究指出本篇论文主要包括金属诱导结晶硅及其在可见光全波段高反膜中的应用两部分研究。由于金属Ni诱导引入少子复合中心,而金属Al诱导带来的金属污染,使其不适合应用于太阳能电池中,论文提出了采用金属Cu作为诱导材料进行金属诱导硅结晶。Cu与Si均在室温下同一真空室中进行连续直流溅射,在低温(480℃)真空条件下退火,从而样片能够在普通玻璃衬底上进行大面积、低成本制备。经测试得到的晶化率为73%,平均晶粒尺寸约48nm,得到了较好的结晶效果。薄膜厚度、溅射真空度、退火时间和温度等工艺参数对结晶质量都有一定的影响。论文工作还尝试了衬底高温、引入缓冲层等提高结晶质量的方法,但未能明显提高晶化率和晶粒尺寸,因此,制备的多晶硅薄膜距太阳能电池应用尚存在一定距离。但是,诱导晶化大幅提高了多晶硅薄膜的透光性,可以将结果应用于其他领域。论文将Cu诱导结晶硅的研究结果应用于可见光全波段高反膜的研究中,高反膜采用了经典的介质高反膜的折射率“高-低-高”排列结构。为了同时获得较高的折射率和较大的截止带宽,选用poly-Si/SiO2/α-Si的叁层复合膜结构。全部溅射过程在室温下同一真空室中连续完成,其中poly-Si借鉴前一部分论文工作中Cu诱导硅晶化的研究结果,利用poly-Si良好的透光性作为复合膜顶层,复合膜退火后完全绝缘。此复合膜在可见光全波段(380nm～780nm)的反射率大于60%,其中400nm～700nm波段的反射率近似80%,覆盖了PDP中荧光粉的波长范围。此外,膜层材料折射率、透光性和各层膜厚度对整个反射率曲线均有一定影响。此复合膜可应用于等离子显示器背基板上减少可见光的透射,提高出光效率,从而减少透射光对其他像素的串扰,提高对比度。值得一提的是,复合膜的反射率曲线形状可通过膜厚灵活调节,因此可以有针对性地提高短波长的反射率,补偿PDP色温偏低的缺点,这是论文中复合膜的重要优势,具有实际的应用价值。(本文来源于《清华大学》期刊2009-05-01）

金属诱导结晶论文开题报告

（1）论文研究背景及目的

此处内容要求：

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例：

分析了金属Ni、Al诱导非晶Si及非晶SiGe薄膜结晶的条件、特点和机理。简要介绍了金属诱导结晶相对于其它一些结晶工艺的优势及其在薄膜晶体管中的应用。概述了影响诱导结晶速率和薄膜微结构的诸多因素,如热处理条件和外加电场等。对电场增强金属诱导横向结晶的相关问题进行了探讨,指出适当强度的电场可显着加快横向诱导结晶的速率,但更强电场则会降低该速率,基于电迁移效应对该现象进行了解释。

（2）本文研究方法

调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。