论文摘要
采用热丝增强等离子体磁控溅射技术,通过改变基体偏压,在TC4钛合金表面沉积了多层素CrN涂层。利用SEM、EDS和XRD分别分析了多层素CrN涂层的形貌、成分及相结构,采用划痕仪、显微硬度仪、纳米压痕仪等对多层素CrN涂层与TC4钛合金的结合力和力学性能进行分析讨论。结果表明,通过调控磁控溅射基体偏压,沉积获得的多层素CrN涂层表面平整致密,截面多层结构明显可见,涂层厚度约5μm。多层素CrN涂层沿(200)、(111)面择优生长;涂层与基体结合力达69 N,其厚度450 nm处的杨氏模量和纳米硬度分别为320GPa和25 GPa;涂层表面磨痕宽度仅为TC4钛合金的8.5%。多层素CrN涂层与TC4钛合金结合力强,适用于提高钛合金表面的硬度及耐磨损性能。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 李金龙,周艳文,滕越,张开策,王亚男,郭媛媛,吕哲
关键词: 等离子体增强磁控溅射,钛合金,多层素涂层,结合力,力学性能
来源: 辽宁科技大学学报 2019年04期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 金属学及金属工艺
单位: 辽宁科技大学材料与冶金学院表面工程研究所
基金: 国家自然科学基金（51672119,51702145）,辽宁省科技厅项目(SKLMEA-USTL-201709),辽宁科技大学产业技术研究院重大应用项目(601012431-10),辽宁科技大学创新团队项目（2017TD01）
分类号: TG174.4
DOI: 10.13988/j.ustl.2019.04.006
页码: 263-268
总页数: 6
文件大小: 1670K
下载量: 68
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标签：等离子体增强磁控溅射论文; 钛合金论文; 多层素涂层论文; 结合力论文; 力学性能论文;