论文摘要
面板企业在制程过程中使用的特种气体泄漏后极有可能发生火灾、爆炸、中毒等严重事故,尤其是洁净厂房环境复杂,易发生二次灾害,为应急处置和救援带来很大困难。文章以国内某面板企业干法刻蚀工艺为例,采用ALOHA软件对其特气管道可能的泄漏事故后果进行模拟分析,定量得出了事故后果的危害范围。结合企业现状,从预防事故可能性及控制后果的严重程度两个方面,提出风险控制措施。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 储咪咪
关键词: 面板企业,特气泄漏,扩散,模拟
来源: 化工管理 2019年24期
年度: 2019
分类: 经济与管理科学,工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工,有机化工,安全科学与灾害防治
单位: 上海天马微电子有限公司
分类号: TQ086
页码: 165-166
总页数: 2
文件大小: 3036K
下载量: 58
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